热驱动微型电场传感器干燥技术.pdfVIP

第23卷 第6期 传 感 技 术 学 报 Vol_23 No．6 2010年 6月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Jun．2010 TheDryingTechniquesforThermallyDrivenM EFS GUOXin ，YANGPengfei ，ZHANGHaiyan ，PENGChunrong，XIAShanhong} f1-TheStateKeyLaboratoryofTransducerTechnology，InstituteofElectronics，ChineseAcademyofSciences，Bejiing100190，China ＼2．GraduateUniversityoftheChineseAcademyofSciences，Beijing100190，China 』 Abstract：Thefabricationofthethermallydrivenminiatureelectricfieldsensor(MEFS)isintroducedinthispa． per，especiallythereleaseanddryingprocessoftheMEFS．Thebiggestproblem ofthefabricationofMEFSisthe stickingafterreleasingthesacrificiallayer．Somemethodssuchasevaporationdrying，CO2criticalpointdryingand themethodofself-assembledmonolayerwereusedintheexperiment．Advantagesanddisadvantagesofthesemeth． odswerecompared．SometestshavebeendonetotheMEFSspreparedbydifferentdryingmethods．Theexperi． mentalresultsshow thattheMEFSspreparedbythemethodofserf-assembledmonolayerhavebettersensitivity． Keywords：electricfieldsensor；sticking；criticalpointdrying；self-assembledmonolayer EEACC ：7230：7310 热驱动微型电场传感器干燥技术术 郭 鑫 ，杨鹏飞 ，张海岩 ，彭春荣 ，夏善红 ／1．中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室，北京 100190；＼ ＼2．中国科学院研究生院，北京 100190 ／ 摘 要 ：介绍了热驱动微型电场传感器的工艺流程，主要介绍了微型电场传感器的释放干燥工艺。热驱动微型电场传感器 工艺存在的最大问题是牺牲层释放以后容易产生粘连，为了避免粘连现象的产生 ，采用 了不同的干燥方法，如蒸发干燥法、 CO：临界点干燥法、自组装膜方法，并对这些方法的优缺点进行了比较。对不同干燥方法制备的热驱动微型电场传感器的性 能进行了测试，得到自组装膜法制备的热驱动微型电场传感器具有更好的灵敏度。 关键词 ：电场传感器；粘连现象；临界点干燥；自组装膜 中图分类号：TP2l2 文献标识码：A 文章编号：1004—1699(2010)06—0786—05 电场与人类的生产生活有着密切的联系。借助 形式的电场检测传感器。然而现有的各种电场传感 于电场传感器对电场进行有效检测，从中取得 电场 器也不可避免地存在着体积大、成本高、功耗大、难 分布信息已经成为很多科学研究和生产过程的必要 于集成化等问题。相比之下微型电场传感器具有体 信息依据…。对 电场 的测量可用来监测太阳活动 积小、重量轻、功耗低、容易批量生产等优点 ，因 对近地大气电场的影响、城市环境污染情况，预报雷 此微型电场传感器逐渐成为电