申请单流程设定.doc

 申請單流程設定手冊 Document Sequence： ARES-CIM-0905003 System Version： 1.0.0 Release Date： 2009/05/10 Notices Copyrights 2004 ARES， Inc. All Rights Reserved. 本文件內容已登記有著作權之保護，若非經資通電腦同意，禁止以任何方式抄寫或是引用。 為資通電腦註冊之商標。 Microsoft， MS， MS-DOS， Microsoft Visual Studio .Net are trademarks of Microsoft Corporation. 文件修改履歷 發行/修訂版次 發行/修訂生效日期 發行與變更說明 備註 1.00 created 申請單流程設定 1. 申請單狀態 1 2. 申請單查詢 2 3. 申請單內容 4 4. 製程設定 6 5. 流程設定 8 5.1 新增製程步驟 9 5.2 特殊製程參數 11 5.3 製程內容編修 12 5.4 刪除製程 13 5.5 清除流程 13 5.6 製程限制條件 14 5.7 送審、列印Runcard 15 6. 申請單下線後內容變更 16 6.1 製程插入與刪除說明 16 6.2 加入、取出Wafer 17 7. 各種實驗狀況設定方法說明 18 7.1 Wafer分開做兩種以上不同製程實驗 18 7.2 相同製程，不需設定製程參數 18 7.3 相同製程，需設定製程參數 19 7.4 製程附加量測站狀況說明 20 7.5 黃光製程Matrix狀況說明 20 7.6 製程分批須符合製程限制條件說明 21 申請單狀態 申請單狀態共有八種，分別說明如下： 初稿：代表申請單流程目前尚在編修中。 初審中：代表申請單流程第一次送審。 退回確認：審核者修改過申請單流程或認為申請單流程有誤，需請申請者再次確認。 確認中：申請單流程通過審核，正準備下線。 下線：代表此申請單正進入生產程序。 暫停：當申請者或審核者想要編修申請單內容時，必須先執行暫停。 複審中：申請單流程第二次送審。 完工：申請單已完成生產。 申請單狀態，可簡單以下圖來看： 按鈕狀態變化說明： 在初稿且沒有任何流程資料的狀態下，功能鍵只有[儲存]及[離開]可以使用。 新增流程資料，按下[儲存]鈕，功能鍵會出現[送審]可以使用。 當流程資料確定後，按下[送審]，功能鍵會出現[列印Runcard]可以使用，此時申請單狀態變成 “初審中”。 若審核者將申請單退回，此時申請單狀態會變成 “退回確定”。申請單可以調整流程內容後，重新送審。 若申請單審核通過，而該申請單未被”接受委託”(對外服務窗口)，此時申請單狀態會變成”確認中”。 申請單下線開始生產，其狀態會變成”下線”，申請者若有申請單內容變更的需求，須先執行[暫停]。 按下[暫停]後，申請單狀態變成”暫停”。申請者可以變更申請單內容。在確認變更的內容無誤之後，將申請單重新送審。 申請單完工後，其狀態將變成”完工”。 申請單查詢 當申請單資料轉入Mes系統後，申請者可於委託單維護中，查詢及編修申請單流程。而流程審核者可透過委託單維護，審核申請單流程內容是否正確。 委託單的維護畫面共分為兩頁，查詢頁面依權限顯示所有資料，如下圖： 功能說明： 畫面依登入帳號所擁有的權限，呈現不同申請單資料內容。 系統提供申請單編號、申請者姓名、申請單型態及流程狀態[初稿、初審中、確認中、退回修改、下線、暫停、覆審中、完工]等查詢欄位。 申請單編號及申請者姓名兩個欄位，提供相似查詢功能；不論輸入幾個字元，系統會將資料開頭字元與輸入字元相同者都列出來，當這兩個欄位為空白時，表示會查詢所有的資料。 按下“編輯”按鈕，對該申請單編號進行編修。若申請單流程狀態為下線及完工，只提供內容瀏覽功能，不提供資料編修。 按下[編輯]後，系統會展開一個新的編輯畫面，此編輯畫面又分為 “申請單內容”及 “製程設定”兩個分頁。 申請單內容 申請單內容為基本設定頁面，主要用來設定進行實驗的Wafer數量、全新的實驗或是舊實驗重新加入製程；使用新或舊的Wafer。 資料欄位說明如下： [片數]：設定要進行實驗的Wafer數量。最大片數為25片。 [說明]：針對申請單有需要備註的資訊，可於此欄位說明。 [新Runcard]：全新的申請單進行實驗。 [舊Runcard]：挑選已經完工或結批的批號，系統會帶出舊流程，申請者可加入新的製程後 重新進行實驗。 [新Wafer]：使用空片進行實驗。 [舊Wa