探针台.doc

探针台 　　探针台主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。 　　目前在中国地区被广泛使用的品牌是：台湾宜准ADVANCED，它以性价比最高著称而深受业界好评。 　　此外，美国Cascade 和德国 Karl SuSS, 作为较高端的产品其价格也相对较高而未能在国内获得较大响应。 　　探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动 　　从功能上来区分有：高温探针台，低温探针台，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台 　　经济手动型 　　chuck尺寸100mm 　　X,Y移动行程100mm 　　chuck Z轴方向升降10mm（选项） 　　搭配AEC实体显微镜 　　针座摆放个数2～4颗 　　适用领域：4寸Wafer，如晶圆厂、LED、学术单位等 　　手动型 　　chuck尺寸800mm/600mm 　　X,Y电动移动行程200mm/150mm 　　chuck粗调升降9mm，微调升降16mm 　　可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜 　　针座摆放个数6～8颗 　　显微镜X-Y-Z移动范围2x2x2 　　可搭配Probe card测试 　　适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品 　　电动型 　　chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不锈钢或镀金） 　　X,Y电动移动行程300mm x 300mm 　　chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u 　　可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜 　　针座摆放个数8～12颗 　　显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“ 　　材质：花岗岩台面+不锈钢 　　可搭配Probe card测试 　　适用领域：12寸Wafer、IC测试之产品 　　LCD半自动探针台 　　机械手臂取放片 　　电动、键入座标寻位置 　　量测尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000 　　LCD手动探针台 　　白炽灯或者LED整面背光 　　TFT元件特性、Driver IC量测分析 　　机台尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300 　　PCB量测探针台（TDR） 　　高频测试探头GSG / GS / SG 　　频率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ 　　机台尺寸同LCD 探针台 　　太阳能产业探针台（Solar Cell 量测系统） 　　量测软体: 　　I-V /C-V Curve, Isc, Voc, 　　Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor, 　　Power Convert Efficiency 　　采用KEITHLEY Source Meter 　　可加配任意品牌之太阳光模拟器 　　自动探针台的维护 　　1 探针测试台x-y工作台的分类 　　纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡／探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪（TESTER）相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类，即：以美国EG公司为代表的平面电机型x-y工作台（又叫磁性气浮工作台）自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待。 　　2 x-y工作台的维护与保养 　　无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台，x-y向工作台都是其最核心的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障，而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的，所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。本文仅对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一介绍。 　　2．1 平面电机x-y步进工作台的维护与保养 　　平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开，定子是基础平台， 动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。 　　而定子在加工过程中生产厂家根据不同的设计要求如分辨力等，用机加工的方法在一平面的铁制铸件上加工出若干个线槽，线槽间的距离即称为平面电机的齿距，而定子则按不同的细分控制方式，按编制好的运行程序借助于平面定子和动子之间的气垫才能实现步进运动。对定子的损伤将直接影响工作台的步进精度及设备使用寿命，损坏严重将造成设备无法使用而报废。 　　由于平面电机的定子及动子是完全暴露在空气中，所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象，另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤，而影响平面电机的步进精度及使用寿命，对