黄光制程剖析.pdf

下载文档 降价啦

407
0
约2.21万字
约 56页
2017-05-21 发布于河南
举报
版权申诉
保障服务

黄光制程剖析.pdf

1、本文档共56页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

黄光制程剖析

Litho 黄光制程简介 Litho 目录 • 半导体制程简介 • 黄光制程简介 • 涂胶系统 • 曝光系统 • 显影系统 • 检测系统 • 总结黄光制程 Litho 半导体制程简介生长薄膜抛光清洗 (Thin film) (CMP) (Clean) 清洗蚀刻黄光 (Clean) (Etch) (Photo) 扩散清洗离子注入 (Diffusion) (Clean) (Implant) Litho 什么是黄光区? Litho - Clean Room - Separation Other Area Lithography Area † Clean NH3 † Wave Length Materia Control l Additional Selectio PreFilter n Cleaning TRACK Improved System AD chamber “Class100” within100(0.5umUP)/f3(0.028m 3) Litho Photo in-line process flow overview [1] General Flow Definition: It’s pattern printing process on the resis