旋涂法制备功能薄膜的研究进展.pdf

第 卷 第 期 影像科学与光化学 ３０ ２ Ｖｏｌ．３０ Ｎｏ．２ 　 　 　 　 年 月 ， ２０１２ ３ Ｉｍａｉｎ ＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＰｈｏｔｏｃｈｅｍｉｓｔｒ Ｍａｒ． ２０１２ 　 　 ｇ ｇ 　 　 ｙ 　 　 旋涂法制备功能薄膜的研究进展 ， １ ２ １ ２ １ ， ， ， 王 东 刘红缨 贺军辉 刘林林 　 （ （ ） ， ； 中国矿业大学 北京 化学工程与环境学院 北京 １． １０００８３ ， ） 中国科学院理化技术研究所功能纳米材料实验室 北京 ２． １００１９０ ： ， 、 摘 要 作为众多的薄膜制备方法之一 旋涂法具备薄膜厚度精确可控 高性价 　 比、 、 ， 、 、 、 节能 低污染等优势 在微电子技术 纳米光子学 生物学 医学等领域中有 、 着广阔的应用前景 本文简单介绍了旋涂法的模型 机理及其主要参数的估算 ． 方法， 、 ， 并总结了近几年来用旋涂法制备光学 微电子学等功能薄膜的新进展 最 后对旋涂法的发展前景进行了展望． ： ； ； 关 键 词 旋涂法 功能薄膜 厚度控制 文章编号： （ ） 中图分类号： 文献标识码： １６７４０４７５２０１２０２００９１１１ Ｏ６４ Ａ － － － 　　 　　 、 、 功能薄膜是发展信息技术 生物技术 能源技术等领域和国防建设的重要表面材料 ［ ］ １ ，