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1凹面检测技术--课件
凹面检测技术;凹面镜的作用;凹面镜的作用;凹面镜的作用;检测技术;计算全息(CGH);郎奇检验法;Shack-Hartmann波前传感器检测法;Shack-Hartmann波前传感器检测法;为了验证该方法的可行性“对已加工完成的口径为350mm旋转对称双曲面进行了测量”并对测量结果与零位补偿干涉测量的标准结果进行了对比。结果表明,SHWS的测量结果是正确的。
该方法适用于反射镜从研磨阶段后期到粗抛光阶段的面形检测“从而解决了此阶段轮廓仪测量精度的不足及普通干涉仪无法进行全口径检测的问题”并提高了此阶段的加工效率。
原理上,对离轴非球面也是可以检测的。;掠入射X射线束检测法;接触式轮廓仪;三坐标测量机;光触针式测量方法;扫描共焦显微镜检测法;离焦法;干涉测量法;分光路;TOPO型轮廓仪;近场光学法;近场光学检测;总结:
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