纳米、亚微米标准样板及spm量值溯源.pdf

第24卷 第2期 计 量 学 报 Vo1． 24． № 2 2003年 4月 ACTA Mm 0L0GICA SINICA April2003 纳米、亚微米标准样板及 SPM量值溯源 徐 毅， 高思田， 李 晶 (中国计量科学研究院，北京 100013) 摘要 ：微电子及纳米技术 的发展，对纳米、亚微米尺寸计量及仪器 的量值溯源 的要求越来越高 。文中就建立这 一 量值溯源体系进行探讨 ，包括 ：样板 的研制、测量及 比对 、由仪器和测量方法引起差异的分析等 ，表明了建立纳 米、亚微米尺寸计量量值溯源体系的重要性。 关键词 ：计量学；纳米 ；亚微米；溯源系统；标准样板 ；扫描探针显微镜 中圈分类号：TB92 文献标识码 ：A 文章编号：1000-l158(2003)02—0081—04 NanometerandSub—．micrometerStandardSamples andValuationTraceabilityforSPM XUYi， GAOSi—tian， LIJing (NationalInstituteofMetrology，Beijing100013，China) Abstract：n hasbeeninvestigatedforvaluationtraceabliitysystem ofnanometerandsub—micrometerdimensionmetrology andinstruments，includingmanufactureofthestandardsamples，na ditsmeasurementsandcomparison，na dnaalysisofhtemea— surementdeviationscausedbydifferentinstrumentsandmeasurementmehtods．Sofarna importantparthas beenillustratedtoes— tablishavaluationtraceabilitysystem fornanometerandsub—micrometerdimensionmetrology． Keywords：Metrology；Nnaometer；Sub—micrometer；Traceabilitysystem；Standardsample；SPM 世界各主要工业国家的重视u。 1 引言 BIPM于 1997年成立了纳米尺寸计量工作组， 并于1998年对 1D光栅、2D光栅、台阶高度、线宽和 纳米技术及微电子工业的发展需要尺寸参数计 线纹尺等 5个项 目进行 国际比对。中国计量科学研 量标准和相应的计量检测作为基础 ，从而对产品进 究院作为纳米尺寸计量工作组的成员 ，一方面积极 行质量评价。同时这些测量方法和仪器随着测量不 组织参与有关 比对 ，同时也在现有的工作基础上 ，加 确定度和分辨率的提高需要进一步考虑它们的可靠 强与国内外有关单位的合作 、进行有关尺寸参数样 性和一致性。近年来，扫描探针显微镜 SPM(AFM、 板的研制和测