差分干涉对比式表面三维形貌量测仪.PDF

專案/研究主題 ◆ 差分干涉對比式表面三維形貌量測儀 學 校 系 所 ◆ 國立清華大學動力機械工程學系 計畫主持人 ◆ 林士傑教授 合 作 夥 伴 ◆ 工業技術研究院量測技術發展中心 計 畫 重 點 ◆ 由於光電顯示產業如液晶顯示器 、可撓性顯示器的發展 ，多種透明材質的基 板及表面薄膜結構逐漸被開發使用。在此類元件的製程中 ，量測次微米級透 明物件三維形貌尺寸的迫切需求為品質檢測與製程分析的一大關鍵 ；本研究 開發一可快速且精確的量測出次微米級物件三維形貌的量測設備 ，以差分干 涉對比(DIC) 顯微術為核心並結合相位移干涉技術 ，應用於待測物的三維形 貌量測 。 效益/特色 ◆ 應用本儀器量測三維形貌具有高速量測 、震動免疫及不需做垂直掃描的優 點 ，可符合產業界線上對於高速 、高精度的量測需求 ；另外更適合針對透明 的光電產品待測物做精密量測 。 教 授 專 長 ◆ 微感測器 、微致動器 、微機械結構 、微製程平台 、微生光機電系統整合 、微 元件的檢測技術