rena机常见的报警以及处理方法作业指导书.doc

修订日期 版本 修订说明 2015-07-08 A 新版制定 修订部门 编 制 审 核 批 准 设备部 1.目的 掌握RENA机常见的报警信息以及处理的方法 2..范围 RENA设备 3.定义 无 4.职责 4.1所有操作人员都必须严格按照文件进行操作；操作过程Drain valve block) 1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理； 2）此报警是因为自动添加氢氟酸的气动阀损坏无法自动添加，或是此气动阀的隔膜片有堵塞现象造成无法自动添加，发生报警后第一时间停机将该气动阀进行更换，更换后重新校验此气动阀的自动添加流量。 5.2.11硝酸供给剂量瓶排放装置的阀门闭塞了(Drain valve block) 1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理； 2）此报警是因为自动添加硝酸的气动阀损坏无法自动添加，或是此气动阀的隔膜片有堵塞现象造成无法自动添加，发生报警后第一时间停机将该气动阀进行更换，更换后重新校验此气动阀的自动添加流量。 5.3水槽1，水槽2，水槽3，常见的报警内容以及处理方法； 5.3.1 泵的干燥保护(Pump protection against dry running) 1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理； 2）发生此报警的原因有：1，槽内漏液，少液，循环打不起来。若是此原因，则要查出少液的原因， 漏液的话要找出漏点进行处理，处理完成后，通知工艺人员补水，报警可消除；2，滤芯堵塞，导致流量偏小，循环打不起来，若是此原因，则需排掉槽内水，对滤芯进行更换；3，循环泵损坏，若是此原因，则需对循环泵进行更换。 5.3.2 水的最小流量尚未到达(Fell below minimum flow) 1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理； 2）此报警通常发生在工艺换液时，添加水的过程中，水的流量低于设定的流量，造成此报警的原因有：1，有多台设备同时在添加水，导致水流量小，若是此原因，可将别的机台添加水的动作取消，逐台添加即可；2，水的添加的流量计脏污或损坏导致计数误差，若是此原因，设备人员需要对流量计进行拆下清洗，若损坏则更换。 5.4碱槽常见的报警内容以及处理方法； 5.4.1碱性溶液供给1剂量瓶排放装置的阀门闭塞了(Drain valve block) 1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理； 2）此报警是因为自动添加碱液的气动阀损坏无法自动添加，或是此气动阀的隔膜片有堵塞现象造成无法自动添加，发生报警后第一时间停机将该气动阀进行更换，更换后重新校验此气动阀的自动添加流量。 5.4.2泵的干燥保护(Pump protection against dry running) 1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理； 2）发生此报警的原因有：1，槽内漏液，少液，循环打不起来。若是此原因，则要查出少液的原因， 漏液的话要找出漏点进行处理，处理完成后，通知工艺人员补液，报警可消除；2，滤芯堵塞，导致流量偏小，循环打不起来，若是此原因，则需排掉槽内药液，对滤芯进行更换；3，循环泵损坏，若是此原因，则需对循环泵进行更换。 5.4.3碱性溶液供给1剂量瓶填充时间已过(Timeout filling) 1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理； 2）此报警是因为碱液供给的剂量瓶在设定时间内没有达到指定的液位（刚好达到第二个液位传感器），查看剂量瓶的液位管，如果液位低于第二个液位传感器位置，则需通知工艺，工艺要通知设施部人员，集中供液的碱液消耗完了需更换。 5.4.4传感器组合错误(Sensor combination) 1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理； 2）此报警是因为槽内的真实液位与液位传感器感应到的液位不一致，调整液位传感器的灵敏度与真实液位一致，即可消除报警。 5.5氢氟酸槽常见的报警内容以及处理方法； 5.5.1氢氟酸供给2剂量瓶排放装置的阀门闭塞了(Drain valve block) 1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理； 2）此报警是因为自动添加氢氟酸的气动阀损坏无法自动添加，或是此气动阀的隔膜片有堵塞现象造成无法自动添加，发生报警后第一时间停机将该气动阀进行更换，更换后重新校验此气动阀的自动添加流量。 5.5.2氢氟酸供给2剂量瓶填充时间已过(Timeout filling) 1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理； 2）此报警是因为氢氟酸供给的剂量瓶在设定时间内没有达到指定的液位（刚好达到第二个液位传感器），查看剂量瓶的液位管，如果液位低于第二个液位传感器位置，则