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热点聚焦 科技进展 低应力多层薄膜加工关键技术研发取得突破 近日，由863计划先进制造与自MEMS工艺平台的工艺一致性。该主 性试验和考核。制定并发布了低温表 动化领域支持的“低应力多层薄膜加 成果体现在以下几个方面： 面牺牲层和体硅2套标准工艺和低应 工关键技术研发”课题取得突破，建 （1）低应力薄膜加工平台，可 力薄膜、封装、可靠性试验3套设计 立了MEMS工艺、封装、可靠性试验 制备低应力多种多层金属膜、介质膜 规则。 3个开放式技术平台，在国内率先探 和多晶硅薄膜，薄膜参数误差± （4）发表论文13篇，其中3篇 索采用PCM+Cpk+SPC技术控制 10%；牺牲层释放成品率大于50%；被EI收录；申请国家发明专利3项， 套准精度小于1μm，加工成品率大 实用新型专利2项。 于60%。 低应力多层薄膜标准工艺平台已 （2）封装平台可以提供倒扣焊 经为相关单位MEMS开关、MEMS移 的凸点制造、薄芯片装片、BGA丝网 相器等研制工作提供了标准加工服 印刷、BGA电镀、外围多层电路基板 务。另外，采取合作开发、委托加工 的设计制造及SMT封装，贴片精度≤ 等形式，为新西兰工业研究所、东南 ±2μm；贴片成品率90%；气密大学、南京大学、南京航空航天大 封装成品率80%。 学、南京理工大学、北京大学、哈尔 （3）可靠性试验平台可进行各 滨工业大学等10多个用户提供约30批 类环境试验和各种电磁兼容性等可靠 次加工工艺和封装服务。 我国无熔痕模具技术将取代喷涂工艺 山东大学海信研究院承担的国家 的正常连续使用和高光液晶平板电视 转印效果非常显著，塑件表面高光、无 “十一五”科技支撑计划项目——绿 机面板的连续注塑生产。应用这一系 熔痕、无流痕、无流线，产生镜面效 色制造与装备关键技术高光无熔痕绿 统，可使单件生产比国外同类装置缩 果，提高了塑件强度和表面硬度。该技 色注塑新技术及其成套工艺与装备研 短９s。调试成功后，这一技术立即 术取代了环境污染严重的喷涂工艺，既 究专项近日取得重要进展。项目组自 保护了环境和操作人员的身体健康，又 主设计和研发的高光塑料模具温度控 因减少了工艺流程，省去昂贵的二次加 制系统在海信集团大尺寸平板电视机 工费用，在大幅度降低生产成本的同 面板生产车间得到规模应用，海信集 时，节省了能源与材料。 团由此成为国内首家拥有自主知识产 这一技术还特别适合加工玻璃纤 权的高光无熔痕绿色注塑新技术生产 维或矿物填料填充的物料，能有效地 线的企业。 防止材料裸露在制件表面，使填充增 高光无熔痕塑料模具温度控制系 强材料的塑件表面质量达到镜面效 统及其控制软件是由山东大学与海信 应用到海信集团大型高光液晶平板电 果，可广泛应用于平板电视机、电脑 集团共同攻关、研发成功的。该系统 视的生产中，技术产业化初见成效。 液晶显示器、空调、汽车内饰件等家 在海信集团模具公司注塑车间的21号 高光无熔痕绿色注塑新技术，又 电、通讯、日用品、汽车、医疗等行 注塑机上一次调试成功，实现了系统 称高光无熔痕模具技术，对模