22电子探针显微分析.ppt

* 一、定性分析 2. 线分析 将电子束在样品表面沿选定的直线扫描， 谱仪固定接收 被测元素的特征X射线， 可 获得该元素在样品这一直线 上的浓度变化曲线 主要用于研究各类界面处的 元素扩散 线分析示例见图15-10 图15-10 元素的线分析 TiK AlK 第二节 电子探针仪的分析方法及应用 * 一、定性分析 3. 面分析 将电子束在样品表面选定的区域内扫描，谱仪固定接收 选定元素的特征X射线， 可获得该元素在这一区 域的的浓度分布图像 主要用于研究显微组织 中元素的浓度分布 也可用于显示组物相的 形貌和分布 面分析示例见图15-11 图15-11 元素的面分析 AgL TiK CuK BSEI 第二节 电子探针仪的分析方法及应用 * 二、定量分析简介 定量分析的依据是元素特征X射线的强度，其方法可分为 标样法和无标样法。标样法的步骤如下 1. 准确测量标样和试样在相同条件下被测检元素特征X射线强度 I0 和 I， 此强度为经背底扣除、 重合峰剥离、 死时间修正后的净强度，计算强度比 K K = I /I0 2. 将强度比K 换算成元素的质量分数w， 再对影响特征X射线强度的因素进行修正，在纯标样下条件下 w = ZAFK 式中，Z 为原子序数修正；A 为吸收修正；F为荧光修正 对于Z ?10、w ?10%的元素， 相对误差≤ ?5%； 其分析区域 小于10?m3，若物质密度为10g/cm3，分析区域质量仅10-10g 第二节 电子探针仪的分析方法及应用 * 二、定量分析简介 ZAF修正的含义参见下图 Z修正 A修正 F修正 第二节 电子探针仪的分析方法及应用 * 二、定量分析简介 下图所示为低合金钢能谱仪分析结果， 定量分析采用无 标样法、ZAF修正 Element Wt% At% SiK 00.49 00.97 CrK 02.29 02.45 MnK 01.12 01.14 FeK 93.08 92.60 NiK 03.01 02.85 Matrix Correction ZAF 第二节 电子探针仪的分析方法及应用 低合金钢能谱定量分析结果示例 * * * 第二篇 材料电子显微分析 第八章 电子光学基础 第九章 透射电子显微镜 第十章