HJL真空镀铝的原理-张方荣.ppt

Title of presentation| Referee | Department | Lippstadt, June 2011 Title of presentation| Referee | Department | Lippstadt, June 2011 Title of presentation| Referee | Department | Lippstadt, June 2011 Title of presentation| Referee | Department | Lippstadt, June 2011 Title of presentation| Referee | Department | Lippstadt, June 2011 真空镀铝原理过程概述 真空镀铝机的结构组成 真空镀铝原理及方法 二次镀膜过程流程 镀铝参数的调整规律 镀铝机的操作 1 真空镀铝机的结构组成 真空镀铝机由机械泵、罗茨泵、扩散泵、真空室和镀膜系统五部分组成。其中扩散泵主要部件有：泵体、加热器、扩散泵油、导流管、挡油帽、冷却水管、挡油片等组成。(扩散泵结构图如图1) 挡油帽 挡油片 冷却水管 导流管 扩散泵油 加热器 图1 扩散泵结构图 2 真空镀铝原理及方法 将需要镀铝的产品放入真空室中，依次开机械泵、罗茨泵、扩散泵抽真空，使真空室中的真空度达到4e-2Pa以上，加热蒸发舟使高纯度的铝丝在达到800℃以上的温度下融化并迅速蒸发成气态铝。使气态铝原子在移动的产品表面沉积、冷却而形成一层连续而光亮的金属铝层。通过控制金属铝的蒸发速度、产品的转动速度以及真空室内的真空度等来控制镀铝层的表面亮度及膜层厚度。 3 二次镀膜过程流程 二次镀膜过程主要由抽真空、镀铝和镀保护膜三部分组成。其中抽真空过程又分为机械泵、罗茨泵、扩散泵三级泵的形式来达到所需的真空度，三个泵在抽气过程中就象接力赛跑一样，由扩散泵将抽来的气体交罗茨泵，进而再交机械泵排到大气中。其中扩散泵和罗茨泵都为后级泵，需要达到一定的真空度以后才能开启。二次镀膜过程流程如图2。 底漆品或直镀毛胚 关真空室大门 设定参数 抽真空到达预设真空度 蒸发预熔 大电流蒸发 镀保护膜 放气，开真空室门 图2 二次镀膜过程流程 4 镀铝参数的调整规律 镀铝参数的调整规律主要是结合平时每台镀铝机镀铝的参数再结合产品表面的的状态（主要指孔的深浅及平整度）来初次设置的，然后再结合试镀出来的产品状态进行精确调整，使之达到客户要求。 5 镀铝机的操作 检查水(2～4KG)电(360～400V)气(4～6.5KG) 开启电柜总电源 点击进入画面 按自动 按上班（扩散泵到达设定温度后就可开始生产） (1)开机预热程序 6 镀铝机的操作 (2)自动镀铝、镀膜程序 、辉光放电 工件安装\检查 点击转动(10秒) 关真空室大门 点击放电、蒸发设定程序或参数设定 点击放电、蒸发和镀膜(绿灯亮为止) 按复位 按启动(自动放气后运行程序结束) Thank you for your attention! Title of presentation| Referee | Department | Lippstadt, June 2011 Title of presentation| Referee | Department | Lippstadt, June 2011 Title of presentation| Referee | Department | Lippstadt, June 2011 Title of presentation| Referee | Department | Lippstadt, June 2011 Title of presentation| Referee | Department | Lippstadt, June 2011