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RENA清洗机培训界面及手动模式 操作界面介绍 详细说明 详细说明 详细说明 详细说明 详细说明 详细说明 手动模式详解 刻蚀槽功能 刻蚀槽功能 RENISE1功能 RENISE1功能 碱槽功能 碱槽功能 RENISE2功能 RENISE2功能 HF槽功能 HF槽功能 RENISE3功能 RENISE3功能 DRYER2功能 DRYER2功能 COOLINGUNIT功能 COOLINGUNIT功能 传动功能 传动功能 添加桶描述 添加桶描述 添加桶描述 HON3的添加桶下方与其他三个添加桶不同,只有一个RV880/45,这个限流阀是生产过程中微量补液用的,而在第一次配槽时HNO3是不经过添加桶,由流量计控制直接进储液箱的,KOH,HF都是从添加桶往槽内添加.所以配槽时由于HNO3的管路不同,添加桶也和其他三个添加桶不同. * * 程序内的日期和时间 模式、与PLC的连接情况及登陆的用户名 灯塔状态 机器名称 厂家名称 报警的详细信息 登陆按扭 一号传动的状态及设定速度 二号传动的状态及设定速度 传动速度补偿及刻蚀槽温度补偿 三号传动的状态及设定速度 机器的三种报警:严重的问题、机器本身的问题和一般的警报 进口处统计归零 准备上料（自动模式下才会出现） 出口处统计归零 进口处硅片统计 出口处硅片统计 刻蚀槽温度 三个电机分别控制三段滚轴 碱槽温度 门状态(绿色为关闭灰色为开启) 登陆筐,可输入登陆名密码后登陆(不同的登陆名有不同的权限) 记事本 锁定窗户 正在使用的工艺文件 机器自动运行时的开始和停止 灯塔测试(点击后灯塔全部亮) 关闭模式 手动模式 服务模式(权限最高) 自动模式 切换到初始界面按扭 进入服务模式按扭 进入手动模式按扭 工艺文件 进入手动添加界面 曲线图 进入报警信息界面 取消蜂命 取消报警 各添加桶状态 冷水机状态 储液箱状态 储液箱进口温度 储液箱设定温度 储液箱实际温度 冷水机内自来水的电导率 集中供液是否READY 机器内化学品排放是否READY MODE MANMODE AUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换 PT FILLING DI----储液槽加纯水 PT FILLING CHEMIE----储液槽加化学药品 SYSTERM RINSING----整个系统(包括外槽内槽储液槽)用纯水清洗 SYSTERM DRAINING----整个系统排液 BATH CHANGE----刻蚀槽的液排进储液槽,再重新往刻蚀槽加液 START MAIN FUNCTION----在手动模式下单个槽运行工艺 RINSE BATH START----开始用纯水不断清洗(只有在槽内加满纯水后次按键才有作用) RINSE BATH STOP----纯水清洗结束 FILL BATH----给刻蚀槽加化学药品(如果储液槽内是纯水则加的是纯水) DRAIN BATH----刻蚀槽排液 第一次配槽的设定体积 实际加入的体积 未加入的体积(点击上图的REST REMAIN VOL.可以清零） 流量 MODE MANMODE AUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING DI----给槽内加纯水（RENISE１的水是RENISE２槽的水溢流过来的） DRAINING----整个槽排液 START PROCESS----在手动模式下单个槽运行工艺 STOP----结束操作 RENISE 1槽的状态 MODE MANMODE AUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING DI----给槽内加纯水 FILLING CHEMIE----加化学药品（初始配槽） RINSING----用纯水清洗 DRAINING----整个槽排液 START CIRCULATION----开始循环（只有加满纯水或化学药品后此功能才起作用，此步骤程序内有时间计算，会自动停止，是整个槽达到READY的基本条件之一） START ETCHING----在手动模式下单个槽运行工艺 STOP----结束操作 初始配槽时KOH和水的体积 MODE MANMODE AUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING DI----给槽内加纯水（RENISE2的水是RENISE3槽的水溢流过来的） DRAINING----整个槽排液 START PROCESS----在手动模式下单个槽运行工艺 STOP----结束操作 RENISE 2槽的状态 MODE MANMODE AUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换 FILLING DI----给槽内加纯水 FILLING CHEMIE----加化学药品（初始配槽） RINSING----用纯水清洗 DRAINING----整个槽排液 START CIRCULA