DFG8560 Maintenance 中文版Manual.pdf

DFG8560 维护简要手册DISCO GuangdongJevons Tian DFG8560 维护简要手册 目 录 1. 清洁机器内部 2. 检查和更换气体滤芯 3. 清洁 Robot 4. 清洁 Spinner 部分 5. 清洁主轴冷却水管路 6. 清洁并润滑 Spindle Z 轴滑轨和丝杆 Page 4 7. 清洁并润滑 T-arm 的Z 轴滑轨和丝杆 Page 4 8. 更换调节 C/T 清洗刷子、油石及 Wafer 清洗刷子 Page 5 9. 更换研磨轮 Page 7 10. Self Grinding Page 10 11.手动研磨 Page 10 DFG8560 维护简要手册DISCO GuangdongJevons Tian 1.清洁机器内部（建议周期：1 周） 1.1 准备工具及用品：酒精，无尘布。 1.2 主要清洁对象：研磨仓。 1.3 等待机器停止 Warm up 后，打开机器研磨区域的门及盖子。清洁机器研磨仓。 用水枪冲洗; 以及用无尘布擦洗。 1.4 注意：a不要用无尘布在 C/T 表面擦洗，防止造成 C/T 堵住。 b不要让硬物碰到研磨轮的牙齿，以免损坏。 2. 检查和更换气体滤芯（建议周期：半年） 2.1. 打开机器左边的后下方的盖子。 2.2. 检查滤芯是否变色，或里面是否有杂质。 2.3. 如果有杂质在里面，请清除。若是有变色或变脏，请更换。 2.4. 依次拆开调压阀滤芯（均为往左旋出，往右旋入）。 a b c d e 2.5. 清洁滤芯外壳及更换滤芯（图 c 中的白色环即是）。 DFG8560 维护简要手册DISCO GuangdongJevons Tian 3. 清洁 Robot 表面（建议周期：1 周） 1.1 准备工具及用品：纯水，无尘布。 1.2 等待机器停止 Warm up 后，打开 Robot 区域的门。 1.3 用无尘布沾纯水，拧干后，轻微地擦试 Robot 表面。 1.4 用气枪吹 Robot 表面。 1.5 注意：a擦试 Robot 表面时，不能用大力，轻微擦试。以免 Robot 损坏。 4. 清洁 Spinner 部分（建议周期：1 周） 4.1 准备工具及用品：油石，酒精，无尘布。 4.2 等待机器停止 Warm up 后，打开 Spinner 区域的门。 4.3 清洁 Spinner 清洗仓。 4.4 用无尘布沾酒精清洁 Spinner Table 周围金属区域。 4.5 用油石清洁 Spinner Table 陶瓷区域。 5. 清洁 Spindle 冷却水管路（建议周期：半年） 5.1 准备工具及用品：酒精，无尘布。 5.2 等待机器停止 Warm up 后，打开机器研磨区域的门。 5.3 拔出 Water In 的水管，用气枪将管路的余水吹出去。 5.4 从 Water In 这头注入酒精，并用气枪将管路内的酒精吹出去，以作冲洗。反复 3~5 次。 5.5 清洁完毕后，将 Water In 的水管装回原处。并试运行。检查是否漏水 DFG8560 维护简要手册DISCO GuangdongJevons Tian 5.6 用无尘布将漏在旁边的水擦干。 6. 润滑 Spindle Z 轴滑轨和丝杆（建议周期：半年） 6.1 准备工具及用品：油枪，润滑油，无尘布， 6.2 等待机器停止 Warm up 后，打开机器研磨区域的门。 6.3 往加油口注入新的润滑油。 * 红色圈位置为注油口。 a.打开门 b.往加油口注入新的润滑油 6.4 直到旧油出来后，上下移动 Z 轴，用无尘布