真空设备设计.pdf

摘要 真空设备一般除了要求具有高效率外还要求具有高可靠性，密封性能是影响 真空设备可靠性的最重要因素之一。高梯度定向凝固设备通过一系列的相关部件 来保证其真空环境，而真空及其密封性的好坏，对工艺控制，产品的质量都有着 直接的影响。考虑密封性对真空定向凝固炉的重要影响，本文基于5Kg真空定 向凝固炉的设计项目，主要完成以下几点设计内容： (1)分析研究真空密封技术各种密封形式、应用场合及各自优缺点。 (2)分析研究真空熔铸设备中密封结构的技术要求和特征参数。确定定向凝 固设备的整体结构。 (3)针对高梯度定向凝固设备的法兰、炉门和电极三个关键部件的不同结构 特征，并考虑密封材料、结构特点和机械加工精度的要求，分别对其并进行密封 设计与研究。 关键词 真空设备 密封技术 定向凝固炉 法兰密封 炉门密封 电极密封 Abstract Vacuumdevicestypicallyrequirehighefficiencyinadditiontothings,require highreliabilityandsealingperformanceofthevacuumequipmentreliabilityisoneof themostimportantfactor.Highgradientdirectionalsolidificationequipmentthrough aseriesofrelatedcomponentstoensureavacuumenvironment,andthevacuumseal isgoodorbadand,ontheprocesscontrol,productqualityhaveadirectimpact. Considerthedirectionalsolidificationfurnaceofvacuumsealingtheimportant influenceof5KgBasedonthedesignofthevacuumdirectionalsolidificationfurnace project,designedprimarilytocompletethefollowing: (1)analysisofthevacuumsealtechnologyofsealingforms,applicationsand theirrespectiveadvantagesanddisadvantages. (2) analysisofsealedvacuumcastingequipmenttechnicalrequirementsand featuresofthestructureparameters.Directionalsolidificationequipmenttodetermine theoverallstructure. (3)highgradientdirectionalsolidificationequipmentfortheflange,door,and thethreekeycomponentsofthedifferentelectrodestructure,andconsiderthesealing material,structuralcharacteristicsandtherequirementsofprecisionmachining, respectively,andsealeditsDesignandResearch. keywords:VacuumEquipment,SealingTechnology,Directionalsolidification furnace,FlangeSeal,FurnaceDoorseal,Electrodesealed 1 目 录 第一章 绪论………………………………………………………………………….1 1.1 前沿1 1.2 真空设备及应用1 1.3 真空密封技术进展及应用2 1.4 本文背景及意义5 1.4.1高梯度定向凝固设备5 1.4.2密封特点及难点6 1.4