匀胶速度对钙锶铋钛陶瓷厚膜结构的影响.pdfVIP

第 25卷 第5期 山 东 建 筑 大 学 学 报 V0I．25 No．5 2010钲 10月 J0URNAL OF SHANDONG JIANZHU UNIVERSII．Y 0ct． 2010 文章编号：1673—7644(2010)05—0472—05 匀胶速度对钙锶铋钛陶瓷厚膜结构的影响 胡伟 ，范素华，张丰庆，车全德，于冉 (山东建筑大学 材料科学 与 [程学院，山东 济南 250101) 摘要：用粉末一溶胶法和快速退火T艺在 Si(100)基片上制备了Ca Sr0BiTi0。陶瓷厚膜。研究了匀胶速度 及退火温度对厚膜结构的影响。用 x射线衍射表征 了厚膜 的晶体结构，用扫描 电镜观察了样品显微形貌。结 果表明在 750℃进行退火 ，匀胶速度为4500r／m时样 品品粒发育 良好 ，表面平整无裂纹 ，厚度约为 1．5p．m，且 n 轴取向较 明显 。 关键词 ：caoSr0BiTiO ；粉末一溶胶法 ；匀胶速度 ；厚膜 中图分类号：TB381 文献标识码 ：A Effectofrotatespeedon structureofCSBT·0．4thickfilm s HU Wei，FAN Su—hua，ZHANG Feng—qing，eta1． (SchoolofMaterialScienceandEngineering，ShandongJia,lzhuUniversity，Jinan250101) Abstract：TheCao4Sr06Bi4Ti4O】5thickfilmsarepreparedonSi(100)substratebypowder—solpro— cessingandrapidannealingtechnology．TheeffectofrotatespeedandannealingtemperatureonCS— BT-0．4 thickfilmsstructureareinvestigated．Thecrystalsturctureofthickfilmsischaracterizedby XRD．ThemorphologiesofsamplesareobservedbySEM．rheresultsindicatethatwhenthefilm is madebythespin coatingat4500r／m andannealedat750。C，thegrain sampleiswelldeveloped， whichiSabout1．5 m thick，a-oriented，el’ack—freeandcompact． Keywords：Cao4Sr06Bi4Ti4O】5；powder—solprocessing；rotatespeed；thickfilms 0 引言 的应用空间 。 。srB’iTiO (简称 SBTi)是一种典 型的铋层状钙钛矿结构铁 电材料，有着较大的剩余 铁电陶瓷膜材料具有铁电性 、压 电性 、热释 电 极化强度 ，铁电性能较好 ，居里温度为 520oCE4]。近 性 、电光、声光 以及非线性光学性等一系列重要的特 年来随着高温铁电压电装置的出现以及高温应用要 性，在微 电子学、光电子学、集成光学和微电子机械 求的不断提高，迫切需要有较高居里温度的高温铁 系统 (MEMS)等方 面具有广 阔的应用前景 ，在 电压 电材料。CaBi4Ti4O】5(CBTi)是与 SrBi4Ti4Ol5 MEMS某些应用 中，需要具有一定厚度 的铁电陶瓷 (SBTi)结构相同的铋层状钙钛矿结构铁 电材料，其 厚膜 ¨J。铋层状钙钛矿结构 的铁 电材料具有高的