十级洁净实验室.doc

洁净与空调技术 CCAC 2007 年第 2 期 工 程 实 例 · 65· 某电子化学材料厂房十级洁净实验室设计 上海罗丹环保工程有限公司 秦志红☆ 摘 要 介绍某十级及千级实验室新回风处理方法, 气流组织形式, 过滤器布置方式。 关键词 超高效过滤器 满布率 液槽式龙骨 高架地板 The Design for the Class 10 Clean Laboratory of An Electronics Chem ical Material Factory By QIN Zhihong★ Abstract Introduces the configurations of the make- up air handling and the re- circulation air handling systems, airflow type and the distribute of filter of a clean laboratory. Keywords Ultra low penetration air filter Suffusion ratio Wet type profile Raised floor ★LUODAN Environmental Protection Engineering Co., Ltd. Shanghai, China 1 工程情况说明 系统。各洁净室各项具体参数要求见表 2。 按各房间洁净度需求设置气闸、风淋室及传递箱。 本工程为上海市某电子化学材料公司新建厂房中洁净 实 验 室 设 计 , 总 净 化 面 积 为 210 平 方 米 , 分 为 更 衣 室 1 3 洁净室设计说明 (gown room)、更衣室 2 (gown room)、化验室 1 (Wet Labora- 空调净化的设计是与工艺的布局、生产的流程密切结 tory) 和化验室 2 (Instrument Laboratory)。实 验 室 面 积 虽 然 合的。不同类型、不同用途的厂房空调净化系统都各有特 不大, 但它是整个车间工艺流程的核心部分, 净化实验室 点, 下面来介绍此项目的空调净化系统方案。 能否正常运行, 直接影响到整个产品质量。工程于 2006 年 化验室 1, 化验室 2 都有温度和湿度控制要求, 空调 4 月完成施工、并全面通过静态测试验收投入运行, 到目 系统用的新风机组 ( MAU) 和循环空调机组 ( RCU) 的冷 前为止运行良好。 媒采用 7～12℃的冷冻水, 加热采用 0.2Mpa 饱和蒸汽, 加湿 2 洁净室设计要求 采用纯水电极式加湿方式。 化验室 2 洁净等级为 10 级, 采用新风机组 ( MAU) + 循环空调机组 ( RCU) +超高效过滤器 ( ULPA) 的空调方 按照 FS- 209E 标准 ( FS- 209E 标准见表 1) , 本工程各 式。采用的气流形式为顶部 ( ULPA) 送风, 气流经高架地 房间的洁净等级分别为更衣室 1: Class 4.5 级 ( 1000) , 更 板 孔 洞 至 回 风 夹 道 。ULPA 满 布 滤 为 100%, 化 验 室 2 对 衣室 2: Class 3.5 级 ( 100) , 化验室 1: Class 4.5 级 ( 1000) , NH4+、SOx 浓度有要求, 需在循环机组 ( RCU) 内增设化学 化验室 2: Class 2.5 级 ( 10) 。实验室平面布置图见图 1。 过滤器。10 级净化间的气流流程为: 新回风混合→活性碳 内装要求: 洁净室内隔间吊顶及龙骨须为防腐蚀材料, 滤器→中效过滤器 ( 95%) →表冷器→送风机→消声器→ 所有水泥墙表面涂装耐腐蚀环氧树脂防止有可能被化学气 亚 高 效 过 滤 器 ( 99.97%) →送 风 静 压 箱→超 高 效 过 滤 器 体腐蚀, 所有与回风相接触的机械元件都必须用不锈钢材 ( 99.999995%) →洁净区→高架地板→回风夹道→回风管→ 质或者与之耐腐蚀性相当的材料。高效过滤器 ( HEPA) 和 新回风混合。为避免房间酸性气体一旦泄漏造成人员伤亡, 超高效过滤器 ( ULPA) 也要有耐腐蚀考虑。 设紧急排气风机。新风接至 MAU- 1 新风机组。其原理图 空调要求: 安装一套新风处理机组, 处理的新风供给 洁净室及安装在洁净室内的蒸发罩 ( hood) , 新风回风混 合后通过 HEPA/ULPA/FFU ( 空气处理单元) 送入洁净室。 回风由空气集中处理机组或干盘管处理。每个房间的空气 压力由集中处理单元或 FFU 控制, 根据各房间洁净度及室 E- mail: qinghihong@163.com 内设