真空检漏知识问答.doc

常州梓铭 2011.10.08 王 1. What is Vacuum? 2. 反映真空度的直接物理量是什么？常用单位？真空区域划分？ 3. 气体三定律？道尔顿定律及其意义？理想气体状态方程？ 4. 理想气体？ 5. 永久气体？蒸汽？永久气体与蒸汽的区别？ 6. 压强方程及其意义？ 7. 麦克斯韦速率分布？最可几速率？算术平均速度？均方根速度？ 8. 自由程？气体分子平均自由程？ 9. 气体沿管道的流动状态可划分为几种基本形式？如何判别？ 10.流导？ 11.真空技术基本方程及其推导？ 12.吸附？物理吸附？化学吸附？物理吸附特点？化学吸附的特点？ 13.吸气剂？吸气剂作用？分类，举例？光源生产中使用吸气剂的必 要性？ 14.吸气剂吸气原理有哪三个主要因素？1 何谓非蒸散型吸气剂的激活？如何实现？ 16.释汞吸气剂及其作用？ 17. ZrAl16惰性气体单级净化器原理及应用？ 18.脱附？去气？去气方法？ 19.真空泵？真空泵分类(根据原理)？ 20.抽速？极限压强 ？最大工作压强 ？压缩比？比抽速？ 21.旋片泵工作原理？ 22.单级旋片泵一般极限压力？为什么极限压力不能再低呢？ 23.气镇式机械泵？直联泵？ 24.机械增压泵又称什么真空泵？工作原理？ 2扩散泵的工作原理？ 26.画图说明扩散泵分馏装置的作用？ 27.分子泵的发展史？ 28.气体捕集式真空泵及其种类（举例）？ 29.离子蒸发泵工作原理？ 30.钛升华泵的工作过程? 31.钛离子蒸发泵工作过程? 32.溅射离子泵又称?抽气机理 ? 33.吸附泵?低温冷凝泵?低温吸附泵?34.真空计分类 (举例）？ 3真空测量特点 ? 36.开式U型管真空计原理？ 37.闭式U型管真空计原理？ 38.压缩式真空计 又称？工作原理？特点？ 39.麦氏计有哪二种刻度方法？原理？ 40.热传导真空计原理？ 41.热阴极电离真空计工作原理 ?组成?分类? 42.如何提高电离计的测量上限？ 43.如何提高电离计的测量下限？? 1 概述 ? . 一 真空检漏的意义 ? . 二 真空系统漏气的判断 ? . 三 漏孔大小的表示 ? 四．容许漏率 ? 2 检漏的基本原理 ? . 一 压强差的作用 ? . 二 示漏气体与探测器 ? 三、检漏方法的响应过程 ? 四、各种效应的利用 ? 五、检漏器的性能指标 ? 3 压力检漏法 ? . 一 打气检漏法 ? . 二 卤素检漏法 ? 三、氨检漏法 ? 4 真空检漏法 ? . 一 高频火花检漏法 ? . 二 真空计检漏法 ? 三、质谱仪检漏法 ? 1 ．工作原理 ? 2 ．示漏气体 ? 3 ．检漏方法 ? 4 ．性能指标 主要内容 1 概述 ? 一.真空检漏的意义 ? 二. 真空系统漏气的 判断 ? 三. 漏孔大小的表示 ? 四．容许漏率真空检漏的基本概念 ? 真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。 ? 漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧 的现象。 ? 虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、 解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气 体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。 ? 漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。 ? 在漏孔入口压力为1.01×105Pa，出口压力低于1.33×103Pa，温度 为296士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低于 248K的空气的气体量。 漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。为了方便，有 时用帕斯卡×升／秒，记为PaL／s。 ? 最大容许漏率：于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的 真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的， 该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。 ? 最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。2 检漏的基本原理 检漏目的： ? 一. 压强差的作用 P1P2； P1P2 e.g. Testing for the leak of tire of a bicycle. 缺点：不能检测微小漏孔? 二. 示漏气体与探测器 ? 示漏气体：卤素 ；放射元素；氨气等 ? 探测器： 电离计等； ? 三、检漏方法的响应过程 ? 立刻响应；响应较快稳定；响应很慢稳定； ? 探查法 ? 四、各种效应的利用 ? 五、检漏器的性能指标? 漏孔的气流特性 气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过 渡流及分子流三种流动状态。 ? 检漏方法的分类 充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法Chapter 5 Leak Detection ? Section 1. General introduction * 1. The import