以离子交换树脂回收光电业制程.PDF

中興工程﹒第123期 . 2014年4月 。 PP. 的 101 自財團法人tf~ .x..程頗閉社 http ://www . sinotech . org.tw/journal/ SINOTECH ENG INEER ING CONSU LTAN TS.INC 以離子交換樹脂回收光電業製程 原廢水中特有物種之研究 紹 介 果 成 發 研 烏春梅* 吳碩傳** 許國恩*** 白山爭鈺**** 朱敬平***** 年 7 月 1 日生效)、鋼0.1 mg/L 、錄 0.1 mg/L 與 景 一 、背 鉤。.6 mg/L (以上三項即日生效) ，有待尋求更 有效的處理方式以符新法規 。 近年國內光電產業蓬勃發展，主要有薄膜電 晶體液晶面板顯示器 ( Thin-Film Transistor Liquid 本研究希望於原廢水產生端設置離子交換樹 Crystal Displayer, TFT-LCD) 、發光二極體 脂系統，針對目標物種進行吸附去除，希冀能達 (Light-Emitting Diode , LED) 與太陽能電池 到「高效捕捉」與 「 高純度再生」兩項目標，減 (Solar Cell) 等業別;不同製程產生廢水性質迴 少上述物種排放至廢水處理單元，造成後端處理 負荷 ，同時也能回收高純度化學藥品。 異 ，可概分成有機廢水、酸鹼無機廢水、氣系廢 水、蝕刻廢水等，其中有機廢水約古總廢水量 二 、研究方法 的強，因製程用藥多含有氮成分，使廢水含有 高濃度有機氮，碳氮比印刷 Ratio) 偏低，不易 本研究探討目標離子子d性物種包括下述七種: 以生物處理將水中總氮濃度降至可接受範闇 ; 1. 氫氧化四甲基錶( Tetramet由h可叭y抖1 Ammo∞nn叫1 另無機廢水與蝕刻廢水中 ，除包含製程所使用 Hydroxide , TMAH) ， 顯影劑主要成分 ;推測 酸液(硝酸、硫酸、磷酸等) ，尚含從各種介 光電業與半導體業廢水中 30~50%的氯氮係 電層中酸蝕剝除之重金屬，或來自薄膜潑鍍 由 TMAH 所貢獻。 ( Sp