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复旦高真空实验系统复旦高真空实验系统真空操作说明
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操作流程 操作流程
操作流程操作流程
1、接上总电源线，安装好分子泵水
冷管路。
2 、打开总电源开关，打开现场水冷
阀门开关，观察水流指示器，水流正常。
3 、关闭阀门V2 、V3 。
4 、打开机械泵 P1 开关（阀门 V1
连锁自动打开），打开真空计（高规切换
至手动模式）。
5、真空度低于 20Pa 时，开启分子
泵 P2 ，分子泵转速达到 10000 转时手动
点亮真空计高规。
6、系统关闭顺序：
①关闭分子泵 P2 ；
②当分子泵停止转动后，关闭机械
泵 P1 及真空计；
③关闭总电源。
！注意！注意事项事项
！！注意注意事项事项
分子泵属于高真空泵，其运行前提是前级泵必须工作，且所属系统真空
度需好于 20Pa（该值可设定）。当系统负载过大（如有大漏），分子泵会因负
载过大做自我停机保护（但无法对突然暴露大气等激烈的冲击做自我保护）。
分子泵全转速运行过程中不能让其进气口和排气口突然暴露大气，突然暴露
大气会对分子泵进行激烈冲击，造成分子泵的严重伤害甚至彻底报废。因此，
必须防止此类事故发生。详见分子泵说明书。
上海实路真空技术有限公司
2015 年 7 月
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