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WDI 自动聚焦
WDI 自动聚焦原理
吴磊
2016.6.14
聚焦原理-ATF4
• 焦点上方，激光光斑
呈现为右侧半圆形
• 焦点处，激光束汇聚
为一点
• 焦点下方，激光光斑
呈现为左侧半圆形
ATF4
ATF4 的聚焦盲点
• 部分刻蚀产品
• 部分表面反光率差距较大
样品
单点聚焦完善方案-ATF6/7
ATF6/7
WDI基础产品一览
ATF7
ATF6
ATF5
ATF4
ATF2-LV
Bandwidth
- Monocular triangulation principle
- Sensor projects structured laser light on target 785 nm
- True digital operation
660 nm
- RT digital image processing
- Adoptive laser power control 510 nm; Optional
- Autonomous focus control Standard
Optional
ATF基础产品光斑形态
ATF4 聚焦 ATF5 聚焦 ATF6/7 聚焦
ATF4 离焦 ATF5 离焦 ATF6/7 离焦
特殊型号-Cell/Module
• 显微镜自动聚焦在TFT array 的
下表面
• 聚焦不会被来自表面的反射光
所影响（保护膜、偏光膜、表
层玻璃等）
• 聚焦时间 0.4 sec.
• 实时自动聚焦-Tracking Mode
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Protective film p
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