silvaco.ppt

文件类型： Filename.in(DeckBuild界面仿真输入文件) Filename.str(器件结构文件) Filename.log(仿真结果文件或日志文件) Filename.set(Tonyplot设置文件) Filename.lay(掩膜结构信息文件) Filename.dat(结果抽取文件) 其它文件类型：Filename.sepc, Filename.opt, Filename.lib…这些文件全是用C注释器编写的。 DecBuild Go…quit——启用…关闭仿真器 syntax：go simulator/simflags eg：go atlas，go atlas simflags=“-V 5.0.8R”，go devedit “-3d” Tonyplot——可将仿真时生成的临时结构文件、工艺仿真中保存的结构文件、器件编辑器生成的结构文件、器件仿真保存的filename.log文件和提取得到的filename.dat文件显示出来。通过其内嵌计算器可获得很多信息。 syntax：tonyplot file eg： tonyplot filename.str/file.log/… Set——设置全局变量或者设置Tonyplot的显示方式 syntax：set variable=value（value可以是数值，也可以是表达式） eg1：set temp=1000 \设置温度宏变量temp的值为1000 set gaspress=1 \设置气压宏变量gaspress的值为1 diffuse time=30 temp=$temp press=$gaspress \在扩散工艺中调用宏变量 \ temp和gaspress eg2：extract name=“oxide thickness” thickness oxide \提取氧化层厚度，并将其 \命名为oxide thickness set etch_ thickness=(“oxide thickness”?10000)+0.05 \以氧化层厚度为变 \量， 来计算刻蚀深度 etch oxide dry thickness=$etch thickness \干法刻蚀氧化层，刻蚀厚度为 \表达式计算所得 eg3：tonyplot structure.str -set show.set \-set表示tonyplot将使用set设置， \show.set表示设置后的结构文件 Extract——提取仿真中得到的信息 syntax：extract extract-parameters \提取用户想提取的参数 Extract-parameters包括：工艺的单一值（net doping、c.boron…）、器件的电参数（VT…）、曲线（浓度随深度的分布、栅压随漏电流的变化…） 结构定义 网格化分：mesh mesh spacemult=1.0 x.mesh location=1 spacing=1 x.mesh location=10 spacing=1 y.mesh location=1 spacing=1 y.mesh location=10 spacing=1 z.mesh location=1 spacing=1 z.mesh location=10 spacing=1 进行二维模拟时，所有语句中z方向尺寸均默认为1?m 除此之外如有需要还可定义圆柱形网格 网格栅除：eliminate eliminate colum