Tescan_LMU操作手册(泰思肯SEM-EDS).pptx

SEM管理者使用方法名：TESCAN VEGA3 LMH;连接主电源( 确认电压 220V ) 2。 N2 GAS, Air line VALVE OPEN确认 3.把PowerKey Switch按顺时针开启 到ON 4.自动开机（蓝灯亮） (电脑主机自动连接，出现画面;;6.点Log in管理者ID后选择， 密码 ;7。自动形成 SEM Self test 模式(10秒内自动检查之后，会自动进入 SEM Main画面 );出现问题时 会出现红色的标志;随时都可以自检;点击在ＳＥＭ　ＭＥＮＵ信息栏里的帮助Send log file-? to file复制后 放在管理者的文件夹里（目的：为了检测设备使用的过程，三个月内一周储存一次，三个月后一个月储存一次，有问题出现时必须要储存。）;点击在ＳＥＭ　ＭＥＮＵ信息栏里的帮助Send log file-? to file复制后 放在管理者的文件夹里;打开Logs file：e-mail : tescan@tescan.co.kr / sanghoon@tescan.co.kr/stlee@tescan.co.kr/hbsim@tescan.co.kr/jg-joo@tescan.co.kr/pwy@tescan.co.kr;2011-03-11 04:01:56.737 [E] NanoStage is requested, but the initialisation FAILED!2011-03-11 04:01:57.267 [E] Selftest FAILED!;制作ID:点击文件(FILE)里的ｕｓｅｒ　ｍａｎａｇｅｒ;制作ID　user manger;制作ID(NEW ID);制作ID cfg．file(电子显微镜的条件资料）点击ＯＫ就可以了。这个提示只有在第一次登陆ＩＤ时才会出现;这个提示就是在自检(self test);　制作SEM Menu画面-制作像条件表 (image parameter);SEM图像参数;窗口显示信息;样品室观察窗口打开(红外线照相IR Camera);制作SEM光学条件（只有制作了条件才能看到像)Load file:选项---〉Configuration-? La;是否自动调节灯丝的中心位置;;SEM Main画面;8。在真空(Vacuum)面板上点击右侧下端的 PUMP( Rotary pump 开始运行 生成 CoumnPressure（镜筒压力）的 红色条;9。点击 高压HV （真空Panel）面板中间的高压，发射电流（Electron panel)(自动形成heating 之后转换成 setting point，画面上会出现样品形象);;10.在样品形象画面右击鼠标选择 “最小放大倍率”;10.利用 NanoStage 单击鼠标移动样品位置(上下左右移动）;11。右击鼠标选择 自动聚焦 (Auto WD) ;12.点击Main 右侧 Infomation bar的 MAG后， Tracball 往左是低倍率，往右是高倍率。 (在高于需要照的倍数下 Focus之后选择需要照的倍数）;手动聚焦要领方法 WD（工作距离） ;13. 在形象画面上右击鼠标后选择 Auto signa话画面会自动调节画面亮度 ;像散校正（stigmator)聚焦Tracball F12 key X(水平）， Tracball F11 key Y（垂直）方向;14.选择 Main右侧Infomation bar的Acugisition(image save)图标 ;利用 NanoStage 单击鼠标移动样品位置(上下左右移动);交换样品;;使用后 SEM OFF方法;简单拍摄 ;文件Log Off使用中更换ID 方法;选项里的参数选择;在WD mode的利用 maual在WD mode的利用 maual columm centering 移动样品位置(上下左右移动里 用Trackball调整WOB;;;;像散校正（stigmator)试验：O.K;像散校正（stigmator)试验;像散校正（stigmator)试验N.G;;;SEM杀毒软件有问题出现时(connection error of SEM);;Filament 交换