气体纯化技术.ppt

气体纯化技术 技术基于： Purification 基于“FAB”模式纯化所有的大宗气体（N2、O2、Ar、He、和CAD） 可以将纯度低于1ppb的气体纯度提高到0.1ppb 产气流量范围从10M3/hr到3000M3/hr。 对大量的特气也能纯化。 Pure Gas Technologies 吹扫/柜式纯化器 点使用式纯化器 区域纯化器 大型纯化器 Bulk Gas Purification Technologies 材料及操作原则 杂质去除 应用 Materials Getters: 均质金属（无支撑）：球状 锆、钒、钛 Supported Metals: 支撑性材料、反应金属：球状 铜、镍、铂、保护性物质 Zeolites： 均质金属：球状、分子筛 Operation 纯化进程 1、催化氧化 2、物理吸收 3、化学吸收 催化氧化 催化氧化进程：将甲烷、非甲烷碳氢化合物氧化CO2和H2O。 方法：催化器+加温+O2 保护性物质+铂，300~400℃ ，富氧环境 反应过程： 2H2+O2=2H2O 2CO+1O2=2CO2 1CH4+2O2=1CO2+2H2O 催化氧化 物理吸收 分子筛 优点： 1、能有效去除CO2与H2O（不去除O2） 2、筒室温度可控 3、进程在高温下完全可逆 缺点： 1、常量普通 物理吸附 化学吸收 支撑性金属（吸收器）：铜、镍、等 优点： 1、金属能化学吸附O2、CO、H2 2、金属网格能物理吸附H2O与CO2 3、筒室温度可控 4、进程在高温下完全可逆：NiO+H2+加温=Ni+H2O 5、局部压力不会造成重大影响 化学吸附——支撑性金属 化学吸收 捕获器：锆、钒、钛、等 优点： 1、化学方式吸收N2、CH4、O2、H2O、CO、H2、CO2 2、筒室温度可控（低产量）或加热过程最优化 3、相对较高的产量 4、局部压力不会造成重大影响 化学吸附——捕获器 热扩散 表面杂质 扩散至大宗气体 氧气纯化工艺 催化床 吸附床 PS6装配图 仪表气体系统图 PS6 纯化器人机界面 STATUS 指示性的显示系统状态 TIME 为当前进行步骤计时 TEMP PRESSURE 指示性的显示当前的压力 温度 FLOW 当前进程气体流量数 人机界面按键 在任何界面下激活目录条 回到主界面 在任何界面下进入报警和警告界面 关闭报警声 提高/减低所需值 在多个文档中切换 人机界面操作 按下 后出现的界面： Restart：启动初纯化器，或者在 出现报警后取消报警并重启纯化器。 Details:深入显示当前系统的控制 点参数。 Alarms:激活报警界面，显示激活 的报警，警告及信息。 Events:激活历史事件表，显示最 多500条历史事件。 人机界面操作 按下 后的界面 人机界面操作 人机界面操作 故障处理 故障报警界面： 按下 后显示 的界面。 故障处理 当出现故障的时候STATUS信息会从System OK变到闪烁的Alarm、Warning信息。 ACCEPT:点击确认单个报警信息。 ALL：点击确认所有报警信息。 ACCEPT后的警报信息会显示为灰色 未ACCEPT得警报信息会显示为红色 信息代码：A表示Alarm W表示Warning 气\Fault Reporting.xml 结束 感谢大家！！！ FIN！！ vampirctutor * * N2/Ar O2 CO H2 CH4 CO2 H2O H2O CO2 CO2 H2O Pd Pd O O O2 Pd O N2/Ar O2 CO H2 CH4 CO2 H2O CO2 H2O H2O H2O CO2 N2/Ar CO H2 H2O CO2 Ni Ni O O2 Ni O O Ni Ni He/Ar H Zr Zr O O2 Zr N C Zr CO2/CO N2 CH4 300-400 0 C ZrC ZrN ZrO 物理吸附 H2O H2 CH4 CO +O2 CO2+H2O CO2 *