CM-050-V01在LCD制造中安装减排设施减少SF6排放.PDF

CM-050-V01 在 LCD 制造中安装减排设施减少 SF 排放 6 （第一版） 一、 来源、定义和适用条件 1. 来源 本方法学参考 UNFCCC EB 的 CDM 项目方法学 AM0078: Point of Use Abatement Device to Reduce SF6 emissions in LCD Manufacturing Operations （第 2.0 版），可在以下网址查询 /methodologies/DB/OBL29PEZ5MIIFE3T6YNRYPRX98RJK3 本方法学同时参考以下工具的必威体育精装版版本： “基准线情景识别与额外性论证组合工具”； “电力消耗导致的基准线、项目和/或泄漏排放计算工具； “化石燃料燃烧导致的项目或泄漏二氧化碳排放计算工具”。 本方法学同时参考了以下美国环保署方法的必威体育精装版版本： 美国环保署方法 1 – 固定污染源的采样及横向速度梯度； 美国环保署方法 2 – 确定烟气速度及体积流量； 美国环保署方法 4 – 确定烟气中的水份含量。 2. 定义 液晶显示屏（LCD ）：一种利用两片平行玻璃及其中放置的液态晶体的显 示技术。 四极质谱分析器（QMS ）：一种可以将原子或分子电离成指定数量的离子， 并将这些离子按照其质量与电荷的比率进行归类的分析系统。归类之后，每种离 子通过法拉第杯或电子倍增器进行收集。 傅里叶变换红外（FTIR ）光谱仪：一种由中红外辐射源、干涉仪、已知吸 收路径长度的密闭样品管、红外检测仪、各组件间传递红外辐射的光学元件和一 套电脑系统组成的分析系统。时域检测器响应（干涉图）通过傅里叶变换，得出 检测器响应与红外线频率之关系的图像。 3. 适用条件 本方法学适用于安装燃烧或热销毁装置，以减少 LCD 蚀刻厂的 SF6 排放。 LCD 蚀刻厂的当前情景为 SF 排入大气。 6 1/38 本方法学的适用性条件如下： 截至 2009 年 1 月 31 日，现有生产线需具有项目活动实施之前至少3 个 自然年度的 SF6 购买、消耗和 LCD 基板产量的数据。而且计入期仅限 于项目审定时现有生产线的剩余寿命期之内。 消除系统的最大 SF6 消除能力应高于项目活动实施之前最近 3 个日历年 度中，进入消除系统的 SF6 和废气（SF6 及所有其他副产品和稀释剂） 的最大历史流量。 没有法律法规强制要求分解、销毁、回收或替代 SF 或含 SF 废气中的 6 6 任何组分。 SF 销毁与 SF 使用应在同一工业地点进行，而且待销毁的 SF 不能来自 6 6 6 于其他设施。 为了确定进入消除装置的 SF6 流量，需要在消除装置之前直接进行测量； 测量点与消除装置的入口点之间不存在其他可能导致 SF6 转化或分解， 进而导致 SF 流量发生变化的装置。 6 需要满足美国环保署方法 1 和方法 2 的适用性条件（即，废气的流动形 式不能是气旋或涡流，而且排气管道的圆形横截面的直径应大于 0.3 米）。 设施应具备国家法律规定的全部安全和健康许可，以便安装并运行消除 装置及监测设施。 SF6 不能临时存贮起来以供将来销