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真空蒸镀法与常压蒸镀法比较表 真空蒸镀法(电子束机种) 常压蒸镀法(馗鼎机种) 市场售价(未税价) 日本机:500~600万RMB(视配备) 韩国机:200~300万RMB(视配备) 国产机:80~150万RMB(视配备) 商业机密,见面详谈 膜层工艺 真空镀膜法 等离子前处理+常压蒸着法 单位生产节拍 每炉约30 min (每小时可完成两炉)(实际操作,每炉需要40分钟) 连续式(线速度:0.5米/分钟) 产能(4 inch) 235 pcs/每炉 ; 470 pcs/hr 1800 pcs/hr(视版型与排盘方式) 运转耗电量 ≧40 仟瓦小时 约4仟瓦小时 机台本体占地面积 ≧12m2 ≦5m2 真空pump 前级为机械pump,高真空高阶机种配cryo pump,一般机种配油扩散pump即可(价格有差异) 无 镀膜前处理方式 离子源(真空) 常压电浆(DBD) 加热方式 腔体内部提供加热,使被镀物升温 本设备毋需对基材加热(后制程外接隧道式烤箱软烤固化药水) 膜厚量测 膜厚量测仪(石英震荡片为耗材)(低阶机种无此项配置) 无需量测(均厚约20nm) 真空蒸镀法与常压蒸镀法比较表 工件架需求 工件架(需定期喷砂处理) tray盘(carrier),无需喷砂保养 工件架弹性 每种工件架只适用于单一尺寸 公用tray盘,可以放置380 x 650mm包含以内的各种size产品 掉片问题 因治具设计关系,通常每炉于公转时偶有掉片的情况发生 水平放置,无掉片问题 不均匀问题 公转外圈通常均匀性不佳,若产品尺寸大太,尤其明显。需要制作校正板 线性镀膜无此问题 腔壁保护 必须配置金属防着板,需要定期拆卸更换保养 无此问题 厂务需求 CDA/PCW/N2/Ar CDA/液态氮 设备保养 治具喷砂、真空pump维修换油、电子枪维修、真空耗材更换等等 常压电浆喷头等耗材 水滴接触角测试 完成镀膜后,水滴接触角必须≧110°,否则将是药料的问题 磨耗测试 各家标准不一,影响的变量极多,可个别分析讨论,在此无法比较 单片CoO(4”) 1.5~1.8RMB(视药水品牌不同与采购设备单价不同以及外围设备价格而有所差异) 低于0.6RMB(总成本) 馗鼎常压蒸镀设备的组成 药水供应 AP 模块 药水雾化模块 传动模块 程控系统 系统两大核心技术 大气电浆前处理机制 供药系统与雾化模块 ?表面清洁:对于C, O脏污(有机物),大气等离子有很强洗净效果 (氧化反应) ?表面活性化:等离子分解分子结合材料、形成OH基= 活性效果。 ?表面粗面化:等离子粒子以nm单位破坏表面= 粗面效果。 (视处理材料而定) 大气等离子前处理机制 DBD原理的等离子放电 馗鼎DBD设计特点 DBD(Dielectric Barrier Discharge)均匀等离子(remote方式) 不需要导电基板或加另外之地电极 处理均匀性佳、单一模块处理宽度可达1100mm 可采复合模块化设计 使用N2或CDA 不需热机,可随时启动停 馗鼎DBD模块(400mm型) 9. S星认证重点项目简述 本项目专门提供给欲代工韩国S星产品的工厂了解,除了S星对于AS镀膜层最基本的要求外,对硬设备也有诸多要求,并已进行设备厂家认证,对于周边搭配的设备与耗材辅料等均有指定或认证,方案仅列举数项重点提示。 S星原厂要求认证项目 S星原厂认证:除了可以显示喷嘴至玻璃表面距离外,更可于每批打首件时,进行载盘六点平整度校正(全自动计算) S星原厂认证的机构设计可以防止喷头微调旋钮误动作,锁定硬件调整参数 S星原厂要求认证项目 S星原厂认证:量产时不可停机换药水,故系统增加双药水桶,可自动切换不停机连续生产20~22小时 附带防泄漏警报装置 S星原厂要求认证项目 供药精度提升保证 Error Value≦5%(16g±0.8g/min) liquid source MFC + gear pump insided Dual-nozzle design setting value: 16 g/min (platform scale) (Glass cup) 靠MFC计算出流量讯号回授与齿轮帮浦可变转速供药来计算每分钟每个喷头精确的用量,精度特高! 电子秤实测实际流量 S星原厂要求认证项目 10.方案结论 良好的AS镀膜工艺有赖于被镀物、设备、药水三者间的搭配,越是能排除负面的影响,越是能产生趋于SAMs结构完美的键结、极佳的附着力。 东芝OGS 笔电30,000 run耐磨测试(同一块钢丝绒) 多方参考比较误听信流言蜚语 异中求同且寻找优质企业伙伴 元功巨勋但不求名利广结
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