零件尺寸的测量1.ppt

则： 令： 则有： ——拉普拉斯函数（概率积分） （3）置信概率：随即误差在±tσ范围出现的概率称为置信概率，t——置信因子（置信系数） （4）通常取t=3，则：P=2Φ(t)=99.73% x y O σ 3σ 3σ 图3-8 与σ的关系 在工具显微镜上用光学灵敏杠杆测量端面定位孔的直径时，可用两种方法确定采样点的位置。 找拐点法 测弦找中点法 立式接触式干涉仪是一种高精度测微仪，其光学系统如图4－6所示。自光源1发出的光束经聚光镜2后成平行光，再经保护玻璃4（干涉滤色片3在定分度值时插入光路）投射到分光镜6上。一束被分光面A反射后，射至可调反射镜5，返回后透过分光镜射向物镜9；另一束光透过分光镜6及补偿镜7，射至与测杆相连的反射镜8，反射后经补偿镜7再在A面反射也进人物镜9，两束光产生干涉，物镜9将干涉条纹放大并成像在分划板10上。分划板上有? 50个刻线间隔，通过目镜11可同时观察到刻线和干涉条纹。补偿镜的作用是产生零级黑色条纹。 立式接触式干涉仪 用接触式干涉仪测量时使用白光，即移出滤色片，使视场中出现零级黑条纹。根据测头先后与标准件及被测件接触时零级条纹位置间的距离，即可测得被测量相对于标准量的偏差值。例如检定量块：测头与标准量块接触时，零级条纹位于a＝－l（格），测头与被检量块接触时，零级条纹位于a=+4格，若仪器分辨力i=0.1um，则被测量块相对于标准量的中心长度偏差为i ×(a2-a1)=+0.5um 比较法测量 激光干涉测长仪 干涉测长是激光在几何量测量中最重要的应用。光波干涉法作为精密测量长度和位移的有力手段问世已久．其测量精度很高。但在激光问世以前，由于缺乏亮度高、单色性好的光源，干涉办法的应用有着许多局限性，激光的出现则为干涉测长提供了极好的相干光源。目前在几何量测量中最重要的激光技术是用光电转换、条纹计数等方法来测量长度，这种方法具有精度高、速度快、量程大、能不接触测量及自动测量等许多优点。(激光具有方向性好、能量高度集中、单色性好、干涉能力强的优点）。 经稳频的氦一氖激光，由望远系统2使之成为平行光，经反射镜3射到分光镜4上，然后光束分成两路，一路光透过分光镜经全反射镜5射到三面激光棱镜6，再返回到分光镜4上；另一路反射到装在工作台上的三角激光棱镜7上，而后又返回分光镜4上。两路光在分光镜处汇合而产生干涉。当工作台连续移动时，由于两束光的光程差的变化，而得到明暗相间的干涉条纹的变化，黑白条纹的变化变为光信号并经反射镜8和9，照射到光敏元件10上，光敏元件接收后转换为电信号，再经放大、整形、脉冲变换等电路，最后由可逆计数器计下脉冲数。工作台移动的距离可用下式算出： 激光干涉比长仪原理图 （3）电动量仪 原始信号转换为电量信号，具有放大、滤波电路。 特点：精度高，测量信号经A/D转换后，易于与计算机接口，实现测量和数据处理的自动化。 如电感比较仪、圆度仪等。 电感比较仪 （4）气动量仪 以压缩空气为介质，通过气动系统流量或压力变化实现原始信号转换。 特点：结构简单、测量精度和效率都高，但示值范围小。 如水柱式气动量仪、浮标式气动量仪。 4、计量装置 为确定被测几何量量值所必需的计量器具和辅助设备的总体。 特点：测同一工件上较多的几何量和形状比较复杂的工件。 如：齿形齿向测量仪、齿轮综合精度检查仪。 二）计量器具的基本技术性能指标 １、刻度间距 计量器具的标尺或分度盘上相邻两刻线中心之间的距离或圆弧长度。（1～2.5mm) ２、分度值 计量器具的标尺或分度盘上每一刻度间距所代表的量值。（0.1mm~0.001mm)分度值越小，精度越高。 ３、分辨力 计量器具所能显示的最末一位所代表的量值。如数字式量仪，其读数采用非标尺或非分度盘显示，不能采用分度值的概念。 ４、示值范围 计量器具所能显示或指示的被测几何量起始值到终止值的范围。 ５、测量范围 计量器具在允许误差限度内所能测出的被测几何量的下限值到上限值的范围。测量范围上限值与下限值之差称为量程。 ６、灵敏度 计量器具对被测几何量微小变化的响应变化能力。 ７、示值误差 计量器具的示值与被测几何量的真值的代数差。一般可用量块作为真值来检定计量器具的示值误差。 ８、修正值 为消除或减小系统误差，用代数法加到测量结果上的数值。其大小与示值误差绝对值相等，符号相反。 ９、测量重复性 相同测量条件，对同一被测几何量多次测量，各测量结果间的一致性。 １０、不确定度 由于测量误差的存在而对被测几何量量值不能确定的程度。 三）测量方法的分类 按实测