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低真空镀膜仪
仪器基本信息
仪器中文名 低真空镀膜仪
仪器英文名 Low vacuum coating machine
仪器型号 Leica EM ACE 200
生产厂家 德国 徕卡
工作状态 正常
主要技术指标
-3
真空度 ≤7 ×10 mbar
工作距离 30mm～100mm
溅射电流 0-150mA 可调
样品仓 140mm （宽）×145mm （深）×150mm （高）
主要配置与附件
真空泵 adixen 2005SD，双级旋片
3
靶材 Pt ，Φ54mm，99.99%，21.5g/cm ，厚0.17mm
功能用途及样品要求
功能及特点 主要用于扫描电镜前处理；利用离子溅射镀金属膜来增加样品的导电性，以便减
少电镜观察时产生的荷电，并增强二次电子或背散射电子信号，获得更好的信噪
比。
测品要求 干燥的薄膜、粉末、块体等。
联系方式
仪器安放地点 深圳西丽大学城北大园区G 栋208A
仪器负责人 宋春艳
联系电话 136 6263 8108
Email songcy@pkusz.edu.cn
仪器预约
预约说明 接受校内预约，校外预约请直接联系仪器负责人
收费说明 见收费标准
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