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HRXRD测量及分析方法 X射线衍射仪 XRD图解 扫描模式 Omega-scan Omega-2theta scan Phi-scan Chi-scan Rocking Curve Scan (ω扫描) θ-2θ扫描,也叫联动,就是样品和探测器都在转动,从衍射峰位可以确定样品的晶格常数,从而确定外延膜样品晶格的应变。这时,探测器前一般要狭缝。衍射峰的半高宽与薄膜的厚度、组分及应变的不均匀性有关。 Phi-scan 极图 * * 布拉格公式: 衍射基本原理 X射线衍射是一种无损的研究材料结构的方法,高分辨X射线衍射(HRXRD)非常适合研究单晶和外延膜等晶体取向很好的材料。 探测器 样品台 Cu(Kα)源 单色器 HRXRD基本光路图 ω扫描,也称摇摆,就是探测器固定在2θ位置,样品在θ左右摇摆, 这时候探测器前面不加狭缝,处于开口状态。 Omega-2theta (θ-2θ) 扫描 φ扫描:取与样品表面有一定夹角的晶面衍射,如六方ZnO的表面为(0001),(1011)面与表面的夹角χ为61. 60o,先将样品倾斜61.60o,然后样品绕表面法线旋转360o,是为φ扫描,可以观察(1011)面衍射的空间分布。
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