工业纯铁电极材料表面渗钼的工艺.PDF

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２７ ２ Ｖｏｌ．２７ Ｎｏ．２ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１４ ４ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ａ ｒｉｌ ２０１４ ｐ ： ／ ｄｏｉ１０．３９６９ ．ｉｓｓｎ２０１４．０２．０１４ ｊ 工业纯铁电极材料表面渗钼的工艺 吴炜钦，高 原，张 焱，王成磊 　 　 （桂林电子科技大学 材料科学与工程学院，广西 桂林 ５４１００４） 摘 要：利用双辉等离子渗金属技术，在工业纯铁电极材料表面进行正交渗钼试验，用极差分析方法研究 　 了极间距、温度、时间、源极电压和气压对合金渗层厚度的影响，并对渗钼的工艺参数进行优化。采用光学显 微镜、 射线衍射仪（ ）、显微硬度仪、扫描电镜（ ）和能谱仪观察合金渗层的金相组织及厚度，测定合 Ｘ ＸＲＤ ＳＥＭ 金渗层的物相组成和渗层硬度，检测合金渗层的形貌、元素分布。结果表明：渗钼工艺优化参数为源极电压 ，保温温度 ，保温时间 ，工作气压 ，极间距 ，可获得满足试验要求的 ８００ ８５０Ｖ １０２０℃ ４ｈ ３５Ｐａ ２０ｍｍ ８０ ｍ ～ μ 的合金渗层；合金渗层组织为柱状晶， 元素在合金渗层中呈梯度分布，合金渗层的物相为 （ ）固溶体 Ｍｏ ＦｅＭｏ 和 Ｍｏ相，合金渗层的硬度呈下降趋势，渗钼后试样的表面硬度为 ２４８．５ＨＶ０．０５。 关键词：等离子；渗钼合金层；电极材料 中图分类号： ； 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＧ１７４．４４５ ＴＧ１１５．５ Ａ １００７９２８９２０１４０２００８１０７ 　 　 犘狉狅犮犲狊狊狅犳犘狌狉犲犐狉狅狀犈犾犲犮狋狉狅犱犲犕犪狋犲狉犻犪犾狑犻狋犺犘犾犪狊犿犪犛狌狉犳犪犮犲犕狅犾犫犱犲狀犻狕犻狀 狔 犵 ， ， ， ＷＵＷｅｉ ｉｎ ＧＡＯＹｕａｎ ＺＨＡＮＧＹａｎ ＷＡＮＧＣｈｅｎ ｌｅｉ ｑ ｇ （ ， ， ， ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｉｎｅｅｒｉｎ ＧｕｉｌｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔ ｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＴｅｃｈｎｏｌｏ Ｇｕｉｌｉｎ５４１００４ ｇ ｇ ｙ ｇｙ ） Ｇｕａｎｘｉ ｇ