太阳能电池PECVD故障解除.docVIP

1．设备工程师常见故障解决方法 一． “Boat not correct on Paddle“ 1. 在CESAR屏幕上按“return（返回）/enter（确认）” 键确定错误信息 2. 输入“ab”确认程序退出信息 3. 切换到system（系统）/handling（处理）, 将lift（升降机）移到Storage3 （储存架3） 4. 检查boat（舟）是否正确放置在paddle（浆）上，如果没有，用绝热手套将其放置正确。 5. 在CESAR菜单中选择Service（服务）/TAB recovery（恢复） handling 6. 设置 manual（手动）/boat（舟）/position（位置）/set point（设定点）=0 7. 如果boat（舟）不移动，设置manual（手动）/boat（舟）/speed（速度）=150 8. 如果“Boat not correct on Paddle（舟在浆上位置不正确）”还是不消失，尝试如下操作： １． 在CESAR菜单中选择 manual（手动） tab/ vacuum(真空度)/pressure（压力）=minimum（最小值），Gas（气体）/N2NO（氮气阀门）=open(开)，直到”Atmo reached（压力到达）”, 关闭N2NO（Gas/N2NO=close）。 ２． 在打开机器大门之前将auto/hand 设置成hand ３． 抓住paddle(j浆)的柄，用手移动paddle （浆） ４． 设置 manual（手动）/boat（舟）/position（位置）/set point（设定值）=0 ５． 在CESAR菜单中选择Service（服务）/TAB recovery （恢复）handling（手动）, 这时炉门应该自动关闭 ６． 如果没有，选择manual（手动）/boat（舟）/service（服务）/homing（回原点）=start 二． “boat already on paddle” （舟已在浆上） 1. 在CESAR菜单中选service tab/InitDevs, 由此安装了各种器件，SLS 向上。 2. 保证tube pressure 达到并保持在Atmosphare 3. 设置Manual/boat/position/setpoint=0 4. 设置Manual/boat/speed=150 5. 设置Manual/boat/service/homing=start, 则paddle归０，门自动关闭。 6. 按“stop”, 再”standby” 三．进舟的时候发生错误，paddle 不能行至Max.position, 通常发生在recipe运行后１至２分钟 1. acknowledge alarms 2. 如果recipe没有自动终止，运行菜单中ExitProc 3.service/recovery/handling 四，机械臂不能运行 １．机械爪中有舟，但不能将舟放置已经＂occupied＂的paddle或storage上， 1.1 调至system handling, 查看传感器的响应状态occupied/free 1.2 如果paddle上无舟，但显示＂occupied＂, 可以屡次试验光传感器的通断，如果不行，再检查传感器的调节． 1.3 如果错误发生在将舟退到车上时，可以试着换另一个车． 2 Handling操作时臂不在middle position 2.1 检查机械臂是否可以运动 2.2 将臂移至middle position 2.3 再进行automatic操作 3．软件中预设的位置被改变 3.1 关闭CMI 3.2 运行程序rescmicfg(C/programs/centrotherm/tools)，这将保存以前的位置设置 3.3 重新打开CMI, 并cold start 4．舟浆分离或浆贝炉管卡住，按“Handling stop” 5．浆在炉中时间过长，高温下弯曲下垂，会导致在其在卡住，可用手套将其托起，冷却变直。 6．退舟时发生“Boat failure”，检查舟在浆上的位置是否正确，舟的脚是否碰到炉管，如果舟在浆上的位置正确并且脚没有碰到炉管，使用“Recovery/Handling”。 7．原则上不允许手动放舟于storage2和3上，如果手动放置，必须检查storage2和3的状态，如果有舟状态必须为occupied。 五, 关泵, 关机和开机 1, 关泵, 如需对硅烷燃烧塔进行改装 1.1, 对炉管内填气 Manual-vacuum-tube-pressure-minimum Manual-gas-N2NO-vol