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简述job_review和generation文件制作要点
Job review Generation 文件制作
2016.05.05
上海上海岭芯微电子有限公司
谢堃
2016.05.05
上海上海岭芯微电子有限公司
谢堃
在将gds文件交给foundry厂后,工作并没有彻底结束,等待foundry生成
制版数据后(但没实际进行制版前),会要求design house 进行job review,对
相关数据进行核对。
foundry提供给制版厂的制版数据是,layout layer 运算后生成的以后实实
在在要进行光罩的mask layer。但为了避免出现误差,(避免低级错误,降低风险)
1.核对相关图形尺寸
2.核对相关图形的形状
3.核对层次运算后结果(但有的foundry 厂 为因为必威体育官网网址等原因不提供generation
文件,所以这步没有相关运算公式,job review也就是看看形状 和典型尺寸)
简述Job review 的原因和主要内容
Generation tabel
正常foundry 厂为在让你
进行job review时,为你提供
这分generation table。
(其实就是layout layer如何
计算成mask layer的公式)
C 代表clear 可简单记住
通过layout layer计算后得到的
图形和F厂提供的mask层次
图形是一致的就是C
(因为正胶负胶等有关,中间过程
可以忽略)
D代表dark 计算所得图形和F厂
提供的mask图形取反。
(生成的数据是为了做一个大
号的光罩板,“放大镜是实物5倍
或这4倍”具体倍数看光刻机)
Generation command file制作
Generation Command file 分成几个部分
1.Define option
一些常用的otpion选项和DRC command file保持一致即可。
2.Specification statements
一些常用参数/路径/文件名之类的设定,转出
3.Text layer operattions
基础layout layer 定义
比如metal1 layer name 11(layer number)什么的。
4.Layer derivations and operations
衍生层次定义eg:bulk1=EXTENT ;bulk=SIZE bulk1 by 1
以上四个部分可完全copy DRCcommand file。
Generation command file制作
Generation Command file 分成几个部分
5.将具体layer 计算 执行指令
Eg:Mask tabel 描述:
Mask name:PFIELD
Formula:((-(nwell+hvnw)+ipw)-npf)+(pfimp+pwell)
Command file 描述:
Layer5s(备注1) { layer5 =(((bulk1 NOT (hvnw OR nwell) OR ipw) NOT npf) OR (pfimp OR pwell)
copy layer5}
DRC check map(备注2) layer5s GDSII 5 gen.gds(备注3) MAXIMUM RESULTS ALL
备注说明
备注1:drc rule name
备注2:DRC check map 通过drc控制输出gds指令
备注3:将drc rule “layer5s”图形储存之gen.gds中,layer number 5.
Generation command file制作
其他有generation table 的相关工艺,大家在job review时,可参照文档
和xxxxxxxx的generation文件,自行制作,以便将繁琐的东西交给
电脑去做。
相关格式可参考:
/home/eng/xiek/work/svrf/xxxxx.gen
Generation command file制作
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