简述job_review和generation文件制作.pptx

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简述job_review和generation文件制作要点

Job review Generation 文件制作 2016.05.05 上海上海岭芯微电子有限公司 谢堃 2016.05.05 上海上海岭芯微电子有限公司 谢堃 在将gds文件交给foundry厂后,工作并没有彻底结束,等待foundry生成 制版数据后(但没实际进行制版前),会要求design house 进行job review,对 相关数据进行核对。 foundry提供给制版厂的制版数据是,layout layer 运算后生成的以后实实 在在要进行光罩的mask layer。但为了避免出现误差,(避免低级错误,降低风险) 1.核对相关图形尺寸 2.核对相关图形的形状 3.核对层次运算后结果(但有的foundry 厂 为因为必威体育官网网址等原因不提供generation 文件,所以这步没有相关运算公式,job review也就是看看形状 和典型尺寸) 简述Job review 的原因和主要内容 Generation tabel 正常foundry 厂为在让你 进行job review时,为你提供 这分generation table。 (其实就是layout layer如何 计算成mask layer的公式) C 代表clear 可简单记住 通过layout layer计算后得到的 图形和F厂提供的mask层次 图形是一致的就是C (因为正胶负胶等有关,中间过程 可以忽略) D代表dark 计算所得图形和F厂 提供的mask图形取反。 (生成的数据是为了做一个大 号的光罩板,“放大镜是实物5倍 或这4倍”具体倍数看光刻机) Generation command file制作 Generation Command file 分成几个部分 1.Define option 一些常用的otpion选项和DRC command file保持一致即可。 2.Specification statements 一些常用参数/路径/文件名之类的设定,转出 3.Text layer operattions 基础layout layer 定义 比如metal1 layer name 11(layer number)什么的。 4.Layer derivations and operations 衍生层次定义eg:bulk1=EXTENT ;bulk=SIZE bulk1 by 1 以上四个部分可完全copy DRCcommand file。 Generation command file制作 Generation Command file 分成几个部分 5.将具体layer 计算 执行指令 Eg:Mask tabel 描述: Mask name:PFIELD Formula:((-(nwell+hvnw)+ipw)-npf)+(pfimp+pwell) Command file 描述: Layer5s(备注1) { layer5 =(((bulk1 NOT (hvnw OR nwell) OR ipw) NOT npf) OR (pfimp OR pwell) copy layer5} DRC check map(备注2) layer5s GDSII 5 gen.gds(备注3) MAXIMUM RESULTS ALL 备注说明 备注1:drc rule name 备注2:DRC check map 通过drc控制输出gds指令 备注3:将drc rule “layer5s”图形储存之gen.gds中,layer number 5. Generation command file制作 其他有generation table 的相关工艺,大家在job review时,可参照文档 和xxxxxxxx的generation文件,自行制作,以便将繁琐的东西交给 电脑去做。 相关格式可参考: /home/eng/xiek/work/svrf/xxxxx.gen Generation command file制作 感谢您的阅读

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