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反转法消除硅片重力附加变形适用性研究.pdf
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人工晶体学报
第44 卷第12 期 -[=
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2015 年 12 月 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS
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反转法消除硅片重力附加变形适用性研究
刘海军，朱祥龙，康仁科，董志刚
(大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，大连 116024 )
摘要:建立了计算硅片重力附加变形的有限元模型，模型包含硅片残余应力的影响。通过有限元与实验方法研究
了反转法对抛光与磨削加工硅片适用性。结果表明，反转法适用于抛光硅片，有限元与反转法所得重力附加变形
差值小于 1μm;对梧仪泊砂轮磨削的3∞ mm 直径 394μm 厚度硅片，硅片残余应力使反转前后重力附加变形不再
相同，误差超过最大重力附加变形值的5%;对#2∞0 砂轮磨削的2∞ mm 直径 194μm 厚度硅片，残余应力超过临
界值，硅片变形发生分岔，硅片自由面形与重力附加变形不再符合叠加关系，反转法不再适用。
关键词:大尺寸超薄硅片;重力附加变形;FEM;反
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