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新型生物电极简介课件
新型生物电极简介;目录;一、文献阅读报告;加工过程:;(5)上绝缘层:旋涂PI 制作出厚度约为5μm的上绝缘层(见图1(d))。
(6)电镀:在金电镀液中, 恒流电镀, 形成丘形电极刺激位点(见图1(e))。
(7)释放:通过电化学腐蚀的方法, 腐蚀牺牲层Al , 将电极从硅片上释放下来(见图1(f))。;电学性能测试(三电极系统):;每个电极位点的外形近乎半球形, 非常圆滑(如图b)。每个电极位点直径约为150μm,高度约为50μm。而且整个电极具有很好的柔性, 易于与植入部位的组织相贴合, 从而保证电极刺激位点与神经组织的良好接触。; 本文采用阻抗分析仪对其进行了测试,并与同样大小的平面电极进行了对比,结果如图所示。
从频率-阻抗图可以看出,丘形电极与平面电极在频率为1kHz时对应的阻抗分别是8.59kΩ和43.2kΩ,丘形电极的界面阻抗降低了约4倍(仅为平面电极的20%)。这主要是由于丘形电极具有更大的表面积。
电极位点表面积的增加降低了电极/电解质界面的溶液电阻和双电层容抗, 从而减小了其界面阻抗, 保证了小信号下的有效刺激。此外,电极位点有效表面积的增加还可以提高电极位点的电荷注入能力, 即在相同电流密度的条件下, 可以提供更高的刺激电流从而保证有效刺激。;文献2: Micromachined three-dimensional electrode arrays for transcutaneous nerve tracking;方法1:;方法2:
a.铬板上确定针尖位置
b.顶部曝光确定主基板
C.覆盖SU-8层
d.底部曝光确定针形状
e.继续固化
f.细修形状;3D-MEAs制备电极:;右图为原始肌电数据:
可以看出,相比于标准湿电极,3D-MEAs电极信号强度得到了提升,同样,噪音信号也增强。两种电极测试区域面积比为12.56:1.;文献3: Flexible and self-adaptive neural ribbon with three-dimensional electrodes for sciatic nerve recording;(a) PVD沉积1μmAl膜。
(b) Al膜上覆盖5μm光敏性聚酰亚胺层。
(c) 制备基础层。
(d) 涂覆金层
(e) 涂覆聚酰亚胺层。
(f) 涂覆SU-8光刻胶。
(g、h) 采用光刻技术绘制微针结构。
微针上溅射导电金层。
(j) 从基板上溶解脱离。
;交流阻抗测试:; 由图中可以看出,实验电极所测得的信号同其他电极所测得的信号大致相同,而且八个电极点都被激活,但是电极点所获得的信???却不尽相同。这是由于神经束在神经外膜方向具有各向异性的分布,导致电极带上面电极点分布的差异性。即使在相同的频率下,所获得的导电电流的信号都可能是不同的。;二、实验进展;1、液体硼源(B2O3+甲醇+丙酮)+生长掺杂+6h;实验结果及分析:;2、固体硼源( B2O3 )+热掺杂+6h;实验结果及分析:;3、固体硼源(BN)+热掺杂+6h;实验结果及分析:;4、电极球的腐蚀;H2SO4、HNO3、H2O的含量比例(体积百分数):;实验结果及分析:;三、后期实验安排; 2、电极微球的腐蚀研究
① 先采用相同的腐蚀液配方,对电极微球进行预处理(打磨裸露部分)过后进行腐蚀研究。
② 再通过微调腐蚀液配方来分析腐蚀腐蚀液浓度对电极微球腐蚀的影响。; 2、电极微球的封装及测试
① 争取在期中制备得到一批符合条件的电极微球,被对其进行封装。
② 对封装后的电极微球进行表征。特别是电化学测试,得到部分的电化学数据。;谢 谢 观 看!
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