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高科技產業概況 – 微機電產業分析與介紹 組員： 鍾妮君 賴紅旭 劉懿璇 劉如晏 一、緒論 微機電系統(Micro-Electro-Mechanical System)簡稱MEMS 是目前科技界公認最具未來發展 潛力及前瞻性的研究領域 二、微機電系統產業概況 何謂微機電系統技術 （Micro Electro-Mechanical System, MEMS）？ 是一種結合光、機、電、材、控制、物理、生醫、化學等多重技術領域之整合型與微小化系統製造技術。 MEMS 可應用的產業範圍 包括： 資訊／通訊／消費性電子、工業生產、生醫保健、環保工安、國防工業、農林水產、太空航空…等。 有關微機電的探討與研發 世界微機械高峰會議(World Micromachine Summit) 。 三、微機電系統的製造技術 矽微加工技術方面又可分為以下三種： 體型微加工技術（Bulk micromachining） 面型微加工技術（Surface micromachining） 微光刻電鑄造模技術（LIGA process） 體型微加工技術（Bulk micromachining） 把矽晶片等材料當成一塊加工母材，來作蝕刻切削的加工技術 。 常用的材料為矽晶片及玻璃。 面型微加工技術（Surface micromachining） 是比較靠近原本積體電路半導體製程的作法 。 主要是利用蒸鍍、濺鍍或化學沈積方法，將多層薄膜疊合而成。 微光刻電鑄造模技術（LIGA process） LIGA 是德文字 Lithographie Galvanoformung Abformung 的縮寫。 主要是綜合光學、電鍍、模造等三項技術來製作微機械元件。 微機電與奈米技術的區別。 微機電尺度：100μm ~ 1 μm 奈米技術： 0.1 μm ~ 0.001 μm 四．微機電系統市場概況 在2002年時，消費性產品與工業設備的應用佔了整個微機電技術將近百分之五十的比例；而預估到了2005年，光電、通訊相關產品將獨佔整個微機電市場的大部分。 微機電系統現階段與未來技術的應用也包含了以下幾個項目： 國防科技：微陀螺儀、生化及醫療感測器、間諜昆蟲。 汽車工業：加速規、微感測器、微閥、微幫浦、安全氣囊系統。 通訊光電：濾波器、光通訊連接器與耦合器、光開關。 資訊產業：讀寫頭、投影機元件、微熱管。 生物醫療：生物檢測晶片、實驗室晶片、藥物釋放系統、體內診斷機器人。 五、國內相關廠商 亞太優勢： 朝微機電國際整合元件製造廠（ＩＤＭ）與晶圓代工廠方向同時進軍。 全磊微機電： 全磊微機電同步開發微機電技術與光主動元件。 華新麗華： 為全球第一座提供4到8吋微系統晶圓製程服務之專業代工廠 。 五、我國發展微機電技術之SWOT分析 S 優勢 有堅強的中小企業。 台灣半導體積體化技術已趨成熟 可提供台灣半導體六吋晶圓廠轉投資出路 W 劣勢 技術發展的起步較晚。 光、機、電、材整合微小化之能力尚薄弱。 業界對此項技術的瞭解和意願仍然在萌芽期。 O 機會 關鍵零組件目前正邁入微機電系統技術領域 。 微機電將是二十一世紀多元性升級的技術。 T 威脅 世界各國已領先投入大量的資源 。 前瞻核心技術不易取得。 各先進國家擁有大部分主導權。 六、未來發展趨勢與重點 製程將趨標準化發展。 無線通訊、光纖網路的通訊領域發展仍相當迅速 。 PC、消費性電子產品、通訊產業等領域市場需求預期將快速成長。 PC及其週邊應用領域 PC及其週邊為MEMS的第二大應用領域 。 PC及其週邊所使用MEMS的元件主要為噴墨印表機中墨水匣的噴墨嘴。 PC及周邊所使用的MEMS元件發展漸趨多樣化。 消費性電子產品應用領域 消費性電子產品目前僅佔MEMS應用市場的1.1％左右。 目前MEMS用於消費性電子市場規模仍小。 興起的數位家電成長迅速。 通訊應用領域 為目前MEMS應用市場中最小的一個領域 隨著光纖網路的普及，MEMS元件需求量將會遽增。 微機電--生物晶片 生物晶片究竟是什麼？ 生物晶片發展概況。 生物晶片—基因晶片 基因表現的藍圖 (Gene expression profiling) 毒理學上的分析