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生产IGBT的一种工艺_三重扩散
第 卷 第 期 固体 电子学研 究与进展 ,
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生产 的一种工艺 三重扩散
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李如春 去非 启秀
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根 目 国 导 现 , 了 方 三重扩
提要 据 前 内半 体工艺水平 的 状 提 出 一种制作 的工艺 法
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, 着 用器 拟 , 理论 上 和 实 了 压 器 上
散法 并 重 件模 的方法 从 分析 证 三重扩散法在高 件制作 的优
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和 行 , 用实验 证 正
点 可 性 并 结果验 其 确性
关键词 三盆扩散 器件模拟
中图分类号
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