表面三维形貌测量及其评定的研究.pdf

第 14卷 　第 1期 哈 尔 滨 理 工 大 学 学 报 Vo l14 No1 　 　 2009年 2 月 JOURNAL OF HARB IN UN IV ER SITY OF SC IENCE AND TECHNOLO GY 　 Feb. 2009 　　　　　　 表面三维形貌测量及其评定的研究 朱健军 , 　钟 　渊 , 　刘 　泊 (哈尔滨理工大学 测控技术与通信工程学院 ,黑龙江 哈尔滨 150040) 摘 　要 : 对表面三维形貌测量技术展开了较为全面的研究 ,测量过程由相移 ,采样 ,相位提取 及数据处理等部分组成. 整个测量系统采用激光为干涉光源 , CCD 为图像传感器 ,压电陶瓷提供微 小位移 ,通过图像采集卡将干涉条纹采集到计算机内存. 文中采用上述理论对标准样块进行了测 量 ,计算机得到表面三维形貌图 ,根据建立的基准面分离出粗糙度信息 ,并由给出的参数评定数学 模型 ,编制出合理的软件 ,计算出零件表面的三维参数. 最后给出实验结果和分析 ,并提出下一步研 究工作的设想. 关键词 :三维形貌 ; 形貌测量 ; 三维评定 中图分类号 : TG502 33 文献标识码 : A 文章编号 : 1007- 2683 (2009) 0 1- 0043- 04 M e a su rem en t and A s se s sm en t Eva lua tion o f the Th re e d mi en siona l Su rfa ce Topo grap hy ZHU J ian jun, 　ZHON G Yuan, 　L IU B o ( School of M easu recontrol Technology and Commun ication Engineering, H arb in U n iversity of Science and Technology, H arb in 150040 , Ch ina) A b stract: In th is the sis, the au thor comp rehen sively compo sed allround re search on the techno logy of su rface topograp hy m ea su rem en t. The m ea su re p roce ss include s p ha sesh ifting, samp le tak ing, extracting of p ha se, data handling. The en tire m ea su rem en t system u sed the la ser a s the ligh t re sou rce, CCD a s the sen sor and PZT to p ro vide m icro scop ic tran slating, the compu ter samp led im age and p roce ssed data w ith h igh sp eed. A dop ted the theory, the 3D su rface topograp hy of standard sp ecim en wa s carried ou t. Then we sep arated the inform ation of harshne ss ba sing on the ba se level, and m ade the rational software to calcu late the 3D p aram