表面粗糙度及表面形状的测量.doc

度与表面形状误差 尽管测量表面在基本长度范围内的法线方 向上变化是很明显的,但要区别粗糙度与表面 形状误差(包括波度)也是较复杂的,特别是 当表面形状误差或波度数值与表面粗糙度数值 很接近时。使用不同的测量方法,形状误差或 波度可能与表面粗糙度的数值互相交叠,分辨 不清。所以实际测量时,应使二者互相减掉以 利于单独读出表面粗糙度数值或单独读出表面 形状误差数值。例如,只测粗糙度时,读出的 数据应是在基本长度内的表面不规则性。简单 的机械法,常为划针表面光度仪,但将仪器测 头安装在一个小滑轨上,骑在零件表面,记录 划针相对导轨移动的位移,以表面高低的平均 值作为所测数据,表面波动变化比所记录的高 低变化小得多。另一个方法是在记录过程中或 记录后过滤位移信号以组成相应于长波表面位 移(指形状误差或波度);电子过滤法就可用于 去除粗糙度信号,用来只测量形状误差或波度 并且可以定量显示出数值。 3　几种表面粗糙度的描述方法 最常用的表面粗糙度的描述方法是平均表 面粗糙度法,用符号Ra表示,定义为表面中线 平均高度的算术平均值,中线指曲线上部和下 部面积相等的分界线。如图3所示,用公式表 示 图3　表面粗糙度定义图 Ra=1L∫L0 y(x) dx 均方根偏差法定义表面粗糙度用符号Rq 表示,用公式表示 R2q=1L∫L0y2(x)dx 对许多表面讲Ra与Rq很接近。用单个数 据来描述表面形状,不可避免地要丢失一些重 要信息。例如Ra和Rq没给出不规则表面形状 和表面空间的信息,对于完整地描述表面形貌 来讲,需要对表面高度分配的可能性及穿过表 面的高峰与低谷的空间分配作出测量。 描述表面高低分配方法与波幅密度函数 P(y)有关,P(y)是任意点处偏离平均线的高 度值。数值P(y)Δy为在平均线上落在y与y +Δy之间的表面形状百分比,如图4所示,它 是一条波动曲线,此曲线对应一条对称于平均 线位置的波幅密度曲线,对称的波幅密度函数 说明表面形状的信息。粗糙度Rq是波幅密度函 数的标准偏差,波幅密度曲线可用不对称度表 示,符号为Sk,并定义为: Sk=1R3q∫+∞-∞y3P(y)dy 测量的峰值状态用K表示为: K=1R4q∫+∞-∞y4P(y)dy 二者数值均可用微机表面光度仪将表面形 状较理想地计算出来。图4中方位变化曲线是 相对被测高度的方位变化来描述表面状态的。 波幅分布和方位变化都没描述表面峰与谷的方 式,但可用来从表面了解峰与谷的分布密度。为 了进一步描述表面状态定义了表面形状自相关 函数C(β) C(β)=1L∫L0y(x)y(x+β)dx 其数值由沿表面移动β的y值乘以未移动处 的相应y值计算综合曲线下的面积。当β值为 0时,C(β)值最大为R2q。自相关函数提供沿表 面相距为β范围内的表面高度分布的测量方 法,概略地统计了很小间隔的信息。 图4　表面形状与波幅密度函数图 更全面些的描述表面粗糙度及表面状态的 34 表面粗糙度及表面形状的测量 杨　芊 (广东省汕头市林百欣科技中专　汕头　515041) 摘　要　介绍表面粗糙度及形状的测量方法及特点,并给出了描述表面粗糙度与表面形状误差的方法。 关键词　粗糙度　形状　测量 　　用足够的放大倍数研究零件表面时,发现 所有的固体表面都是不平的。在最小的情况下, 可认为表现粗糙度是以单个的原子或分子的尺 寸呈现的,例如,当我们仔细将云母样品分层 时,表面就可能是以分子组成光滑表面的。而 实际工程中用的精度最高的抛光表面所呈现的 粗糙度尺寸也远远大于原子的尺寸。研究表面 粗糙度及表面形状的方法很多,电子或光学显 微镜法,细针接触法,电学或热学法和两表面 间的液体渗漏法等。最理想的测量方法应该算 是扫描显微镜或原子力显微镜法,它们能解决 单个原子的问题。但对于大多数工程问题,更 适合的方法是研究表面形貌。 1　表面粗糙度及表面形状的测量 1.1　接触测量法 表面光度仪,其基本原理如图1所示。一 个细针在光滑表面上平稳滑动,在观测器下能 观察到划针上下波动,波动的垂直距离由转换 器转换成电信号,经放大后用最简单的形式,在 记录纸上移动笔记录。 图1　简单划线式表面光度仪示意图 此种方法不可避免的局限性是针头形状。 由于强度方面的原因,金刚石划针常为圆锥或 棱锥形,锥角一般为60°,针尖半径为1到 2.5μm。有限的针尖半径及内锥角会阻碍针尖 进入窄坑的深底,即给测量结果带来误差,使 本来不平的表面测成“光滑表面”。另一误差是 在测量非常精细或易变形的表面时,由于针的 自身载荷(尽管很小),也会作用于被测表面上 而使表面产生变形和损坏。 1.2　非接触测量法 光学法测表面粗糙度比接触法更具有吸引 力。它可以无损伤地测量表面粗糙度。图2为 光学干涉仪法测量表面粗糙度的工作原理图。 它是通过