表面粗糙度的光纤传感测量方法.pdf

电子测a与仪器学报2002年增刊 http丫/ 表面粗糙度的光纤传感测量方法 孙俊卿 中国民航学院 摘 要:表面粗糙度的光纤传感测量方法，具有非接触、快速和在线测量的优点.ml量表面粗糙度 的光纤传感器可以分为三类:反射型、漫射反射比型和干涉型。本文介绍了这三种传感器的结构和测 量原理。 关键词:表面粗糙度 光气 传感服 测 OpticalFiberSensingMethodofMeasuringSurfaceRoughness SunJunqing CivilAviationUniversiytofChina Abstract:Theopticalfibersensingmethodofmeasuringsurfaceroughnesshas山eadvantagesof non-contact,highspeedandon-line.Theopticalfibersensorsofmeasuringsurfaceroughnessaredivided intothreetypes:reflecte斌ratioofdiffusedreflectionandinterfering.Thestructuresandprinciplesofthe threesensorsarepresentedinthispaper Keywords:Surfaceran目lness,opticalfibersensor,measurement. 1.引 言 光纤传感技术在表面粗糙度测量中的应用，为表面粗糙度的非接触、快速和在线 测量提供了可能.在光纤传感测量表面粗糙度的研究领域中，光纤传感器的结构和测量 原理是研究的焦点之一，国内文献已有许多这方面的报道It卜F!。但软其测tI原理来讲， 可分为三类:反射型、漫射反射比型和干涉型。下面介绍这三种光纤传感器的测量原理 和结构。 2.反射法 这是一种通过侧t反射光强来测量表面的粗雄度的方法。 根据光散射理论，当一束光以a角入射到被测表面时，如果表面是理想光滑的，入 射光在镜反射方向产生全反射，反射角为a。如果表面是粗糙的， . . 一 - 入射光的一部分或全部产生漫反射并偏离a角Ill.如图l所示: 公 州 1 ! 1 l 1 e s 甘 e s . 斗 - 1 引 T