SMC悬浮输送.ppt

空气悬浮非接触搬送【悬浮导轨】 【至今为止的方法】 ＳＭＣ（Sintered　Metal　Company）的故有技术的灵活运用 环保的对应 静音效果 烧结滤芯的正确配置 按基板大小可以自由组合导轨 容易对导轨及配管进行设置 装载了空气罐，使喷出的空气均匀 导轨表面呈黑色（滤芯除外） 导轨表面处理（可选项） 非接触抓爪和竞争对手比较 0.29MPa 0.19MPa 供给压力 12Ｎ 抓起力 ７４，８００円 ５１，１00円 年间 （３６５日） 95L/min 205円(12h/ｄａｙ） 65L/min 140円（12h/day） 消耗空气 （3円/m3） 竞争对手 Φ６０（XT661-6A） Δ13，000円（32％向上） 消费空气量的比较 Confidential 各尺寸的抓起力数据 Confidential 非接触抓爪产品根据不同尺寸对抓起力的测定结果 (Ps=0.4MPa) 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 0 20 40 60 80 100 120 外形尺寸　　ｍｍ 抓起力　　　Ｎ 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200 220 240 空气消费量　　Ｌ／ｍｉｎ（ＡＮＲ） 　空气消费量 H0：抓起力F最大时的间隙 间隙H0时的抓起力 间隙H0+0.2mm时的抓起力 压力特性分布图 Confidential XT661（圆饼状） 初期产品（圆筒状） 压力的 平均分配 抓起面附近的压力分布 Q=66L/min (尺寸Φ６０） 中心位置 X [mm] XT661（圆饼状） 初期产品（圆筒状） * 新型搬送 非接触产品 ■非接触搬送（悬浮导轨） ■非接触搬送（非接触抓爪） ０７年４月１８日 ＳＭＣ㈱　営業企画部 　为了提高生产能力、①需要制作大型基板②提高中型基板的高速生产都成为了发展的趋势。 在搬送时和基板的接触面集中在滚轮部分，由此产生『弯曲』 『震动引起破损』等、对基板可能会产生不良影响。并且为了防止在玻璃板面上的『吸着痕』『破损』，以及对基板的摩擦而产生『静电反应』，非接触搬运就显得非常实用有效了。 开发目的 悬浮导轨 非接触抓爪　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 【ＳＭＣ悬浮导轨】 由于基板和滚轮的接触有可能造成划伤以及异物的附着 例）导轨搬送 悬浮搬运的概要 非接触的搬送，将不会造成划伤以及异物的附着 利用烧结滤芯（SUS316L)研发出来的空气悬浮系统 非接触搬送　① 空气悬浮系统的应用例 非接触搬送　② 图1：测定回路的简图 滤芯本身的发尘　① 滤芯本身的发尘　② 18个/min 最大值 0.14个/min 平均值 发尘量 空气悬浮系统 ? 空气悬浮导轨 非接触搬送　③ 空气悬浮系统 空气悬浮导轨的特长 玻璃基板 元气压 通过滤芯后的空气形成了空气层 使用例）一般的搬送部，生产工艺装置的搬进搬出部 滤芯1列的类型 使用例）精密搬送部，工艺部 滤芯2列的类型 均匀的空气吐出量　① ■测试体 　　产品号：MA210-F1-X382 　　使用个数：４个 　　设置间隔：２００mm ■悬浮物件 　　① 无物件 　　② 玻璃尺寸：９２０×７３０×０．７ｔ 　　　　　　　　　　　质量：１．２ｋｇ 　　③ 玻璃尺寸：９２０×７３０×２．８ｔ 　　　　　　　　　　　质量：４．８ｋｇ 均匀的空气吐出量　② 均匀的空气吐出量　③ 悬浮物件的有无对供给压力流量的变化 供给压力[Mpa] 流量 [l/min] 无玻璃 图2：回路图 ① ② ③ ④ 1列类型的悬浮数据　①　 ■测试体 　　产品号：MA210-F1-X382 　　使用个数：４个 　　设置间隔：１７０mm ■悬浮物件 　　大小：９２０×７３０×０．７ｔ 　　质量：１．２ｋｇ ■测定方法 　　流量为0[l/min(ANR)]时和流量为100[l/min(ANR)]时 　　在①～④的测定位置的物件的悬浮高度（Ｚ方向）每隔 　　２０㎜(对Ｘ?Ｙ)进行测试。 　　　　悬浮量 ＝ 流量0时的高度 － 流量100时的高度 1列类型的悬浮数据　② １列类型的悬浮数据　③ 测定位置②线上的悬浮量 测定位置③线上的悬浮量 悬浮量 导轨中心 导轨位置 悬浮量 滤芯中心 滤芯位置 ① ② ③ 图3：回路图 2列类型的悬浮数据　① ■测试体 　　产品号：MA210-F1-X371A 　　使用个数：３个 　　设置间隔：２５０mm ■悬浮物件 　　大小：９２０×７３０×０．７ｔ 　　质量：１．２ｋｇ ■测定方法 　　流量为0[l/min(ANR)]时和流量200[l/min(ANR)]时 　　在①～③的测定位置的物件的悬浮高度（Ｚ方向）每隔 　　２０㎜(对Ｘ?Ｙ)进行测试。 　　　　悬浮量 ＝ 流量0时的高度 －