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超光滑表面抛光技术_陈杨
24 5 ( ) Vol.24 No.5
2003 9 Journal of Jiangsu University (Natural Science Edition) Sep.2003
1 1 2
陈 杨 , 陈建清, 陈志刚
(1., 212013;2., 213016)
[ ] 超光滑表面抛光技术是超精密加工体系的 一个重要组成部分, 超光滑表面在 防和民用
等领域都有着广泛的应用.文中介绍了超光滑表面的物理特征和应用, 并根据抛光过程中工件与
抛光盘之间的接触状态,将各种抛光方法分为直接接触、准接触和非接触 3 类, 对每一种抛光方法
作了总体的描述,详细地介绍了近年来发展的激光抛光技术和化学机械抛光技术及其超光滑表面
抛光的加工机理,介绍了超光滑表面的测量和评价方法.
[] 抛光;超光滑表面;机理;评价
[] G356.28 [] A [] 1671-7775(2003)05-0055-05
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1
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,0.01 μm , ,
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. 0.3 nm (rms).
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0.4 nm(rms)
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[] 2003-03-17
[] (BK2002010)
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, , 0.1 nm (rms),λ/20
, .EEM ,
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(Hydration Polishing) EEM .
. (Watanabe Junji)
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