SMC-流体控制用元件.pdf

s e v l a V s s e c o r P - C M S SMC - (Gua s n c g i t z a h m o u u e ) L n i m P i t C e d M S GZ14-CPT006A 2·3 安装·配管 详情请查阅 《Best Pneumatics》的P前附2-9 配线·电气接线·给油 详情请查阅 《Best Pneumatics》的P前附2-10 电子档链接 使用环境·维护点检 详情请查阅 《Best Pneumatics》的P前附2-11 流体控制用元件的概述 流体控制是利用流体的各种控制元件及液压系统附件，组成控制闭式回路，以进行自动控制 它在产品系列里可分为流体控制 化学液用阀-在IC制造业、半导 用2·3通阀和化学液用阀/ 管接头针阀 体、药品医疗、分析仪器、洗净装置、 / 管子两大类。 食品等许多行业的生产过程控制中， 被控制的流体多种多样，对控制元件 流体阀是指通过阀的工作介质除 也提出了越来越高的要求，如发尘低、 空气(包括真空状态) 、氮气、氩气及 液体滞留几乎没有、极少产生微小气 氦气等惰性气体外，还可以使水、油 泡、耐腐蚀等。 蒸气等多种液体和气体。 当然，不同的元件系列允许通过 的工作介质是不同的。也因此密封件 材质等的不同，对同一种工作介质， 可适合不同的介质温度，且产生的阀 的泄漏量也不同。 V X Z 系 列 动 作 原 理