GB/T 14603-2009电子工业用气体　三氟化硼.pdf

犐犆犛７１．１００．２０ 犌８６ 中华人 民共和 国国家 标准 ／ — 犌犅犜１４６０３ ２００９ 代替 ／ — ＧＢＴ１４６０３ １９９３ 电子工业用气体 三氟化硼 　 — 犌犪狊犲狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉 犅狅狉狅狀狋狉犻犳犾狌狅狉犻犱犲 狔 ２００９１０３０发布 ２０１００５０１实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 ／ — 犌犅犜１４６０３ ２００９ 前 言 　　 本标准代替 ／ — 《电子工业用气体 三氟化硼》。 ＧＢＴ１４６０３ １９９３ 　　 　 本标准与 ／ — 相比主要区别如下： ＧＢＴ１４６０３ １９９３ ———修改三氟化硼的适用范围（ ／ — 的第 章，本版的第 章）； ＧＢＴ１４６０３ １９９３ １ １ ———修改规范性引用文件（ ／ — 的第 章，本版的第 章）； ＧＢＴ１４６０３ １９９３ ２ ２ ———修改三氟化硼的技术指标内容（ ／ — 的第 章，本版的第 章）； ＧＢＴ１４６０３ １９９３ ３ ３ ———增加三氟化硼采样安全要求（本版的４．１．２）； ———修改氮、氧（氩）含量的分析方法（ ／ — 的 ，本版的 ）； ＧＢＴ１４６０３ １９９３ ４．２ ４．３ ———修改二氧化硫含量的分析方法（ ／ — 的 ，本版的 ）； ＧＢＴ１４６０３ １９９３ ４．２ ４．６ ———增加二氧化碳、四氟化碳含量的分析方法（见本版的 ）； ４．３ ———修改标志、包装、贮运及安全（ ／ — 的第 章、第 章，本版的第 章）； ＧＢＴ１４６０３