第14卷第2期功能材料及器件学报Vol114,No12.pdf

第 14卷第 2 期 功能材料与器件学报 Vo l14 ,No2 2008年 4 月 JOURNAL OF FUNCTIONAL MA TER IAL S AND D EV ICES Ap r. , 2008 文章编号 : 1007 - 4252 (2008) 02 - 04 12 - 05 基于 SU8和 PMMA 的毛细管电泳芯片制作 1 2 2 2 1 朱学林 ,熊瑛 ,刘刚 , 田扬超 ,褚家如 ( 1. 中国科学技术大学精密机械仪器系 ,安徽合肥 230026; 2. 国家同步辐射实验室 ,安徽合肥 230026) 摘要 :提出了一种简易的基于 SU 8和 PMMA 的电泳芯片的制作方法 ,研究了 PMMA 基底上 SU 8胶 微管道的光刻和薄膜微电极的 lift - off制作工艺 ,探讨了 PMMA 材料特性对薄膜微电极和 SU 8胶 光刻的影响 ,通过热压方法完成芯片的键合封装 ,实现了一种快速 、高质量的电泳芯片制作工艺 , 同 时与电泳芯片的 UV - L IGA 工艺具有很好的兼容性 。 关键词 : SU 8; PMMA ;毛细管电泳芯片 中图分类号 : TB 324　　文献标识码 : A Fabr ica tion of CE m icroch ip ba sed on SU8 an d PMM A 1 2 2 2 1 ZHU Xuelin , X ION G Yiong , L IU Gang , T IAN Yangchao , CHU J iaru ( 1. D ep artm en t of Precision M ach inery and Precision In strum en tation , H efei 230026 , Ch ina; 2. N ational Synch rotron R adiation L aboratory, U n iversity of Science and Techno logy of Ch ina, H efei 230026, Ch ina) A b stract: The fab rication of m icroch ip of Cap illary E lectrop hore sis ba sed on SU 8 and PMMA wa s devel op ed in th is p ap er. The fab rication p roce ss of SU 8 m icro - channel wa s studied, the fab rication of m icro - electrode s affected by m aterial p rop ertie s of PMMA wa s also discu ssed. The m icroch ip wa s p ackaged by therm al - p re ssu re bonding m ethod. The re su lts ind icate that h igh quality of CE m icroch ip wa s fa st fab ri cated by th is new m