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非球面变形抛光盘变形能力分析.pdf
第32卷第4 期 压电与声光 Vol.32 No.4
PIEZOELEC丁RICS ßιACOUS丁OOP丁ICS
月 2010
文章编号: 1004-2474(2010 )04-0582-03
非球面变形抛光盘变形能力分析
胡自强l ， 2 ，凌 宁2 ，潘君辟3 ，姜文汉2
(1.烟台大学光咆信息学院.山东烟台 264000;2. 中阁科学院成都光电所，四川成都 610209 ;
3. 苏州大学现代光学技术研究所，江苏苏州 215006)
摘 要:寨子压电陶瓷驱动榻的非球前变形抛光盘，能在驱动器的作用下改变面形，用于中小口径1扣球丽镜加
工。…个口径五~100 mm、含 19 个驱动器的非球面变形抛光盘巳试制究毕，用于…个口径Ø350 mm、非球面系数
k= …1. 112155 、顶点半径 R=坦 840 mm 双翩翩镜的加工实验。为研究J辈子跟电陶瓷驱动器的非球面变形抛光毅输
出阁彤的精度，计算当非球商变形抛光盘中心剑非球面工件中心距离 L 分别为 90 mm、 100 mm , 110 mm、 120 mm
和 130 mm 时，非球面变形抛光盘所需变形最s 并利用有限元分析法仿真计算得到，非球面变形抛光1}}，:输出面形的
剩余残袭(RMS)相应分别为 0.298μm、 0.279μm、 0.279μm、 0.329μm、 0.447μm，结果表明，变形抛光盘能以较
高精度产生非球丽丽形，可扇子才扣球面镜加工。
关键词:~扣球面镜;::jF球面变形抛光tl; 变形;有限元分析
中图分类号:TH74 :lt献标i只码 :A
Deformation Capability Analysis of Deformable Aspheric Polishing Lap
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HU Ziqiang • ,LING Nin g2 ,PAN Junhua ,JIANG Wenhan
O. School of Optics . Electronics Information. Yantai UniversÎty. Yantai 264000.China;2. lnstitute of Optics . Electronics ,The Chines(
Academy of Sciences ,Chengdu 610209 ,China ,3. Modern Optical Technology Institute ,Suzhou University.Suzhou 215006 ,China)
Abstract , The deformable polishing lap based on PZT actuator can change the lap surface continuously to fit the
surface of middle aperture aspheric optical mirrors at any location. A diameter 100 mm deformable polishing lap
consisted of 19 PZT actuators had been designed and manufactured , which is being used to polish a hyperboloid
mirrorwith bore dimension of 350 mm. aspheric coefficient k= 一1. 112 155 and the
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