JB 6922-2004-T 真空蒸发镀膜设备.pdf

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ICS23.160 J78 .r!ICi 中华人民共和国机械行业标准 JB/T6922-2004 代替JB/I6922-1993 真空蒸发镀膜设备 Vacuumevaporationcoatingplant 2004-10-20发布 2005-04-01实施中华人民共和国国家发展和改革委员会发布 JB/T6922-2004 目次前言，.-…… ，，……二‘，一…‘ ..‘…，一 1 范围……，-一 ..‘...…… ‘..…，，，.二..‘…… ‘.价二 ‘.价一. 一.一...一… 2 规范性引用文件……，二 ‘，.，.… ，二价二，·······，·······价··一·一··一· ··一···… 3 型式与基本参数.. ……，，… …，.二 ‘..…，，...……，········，.············· ··…… 3.1结构形式...一 .-‘…，-.…，二，二， ···‘··············.… 3.2 基本参数.……，……，… …，..二，...··········.·.·······.··.···…·‘… ， 3.3 型号，.-.… ..‘...-一 …‘…，… …‘ ，.. .…，，-… …，.，，..…‘ ，.-...一t.-...价 ...-.… 一， 4 技术要求 … …，..-‘-.---..… ，‘-一...…… ﹄气 4.1 工作环境条件…… t..…价…，..…… ，，-... …… ，.···········.··············一·‘ 一﹃ 4.2 结构要求--…，.-..一 .…‘ ，-… ，..一 t‘一..一一你 4.3 制造要求 ----.-..-…… ，，---..-一，... ‘ 气 4.4 安全防护要求一 …‘…，，一，..·······‘二、 5 试验方法..--… ，.-..二..‘…，.，，-.--一t…… 月 5.1 极限压力测量… … ，..- …… ，……，… 月 5.2 抽气