原子力显微镜原理、仪器及应用.pptx

原子力显微镜原理、仪器及应用;起源;结构简图; 原子力显微镜(Atomic Force Microscopy, AFM)是由IBM公司的Binnig与史丹佛大学的Quate于一九八五年所发明的，其目的是为了使非导体也可以采用扫描探针显微镜（SPM）进行观测。 原子力显微镜的基本原理是：将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与样品表面轻轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力，通过在扫描时控制这种力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。利用光学检测法或隧道电流检测法，可测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化，从而可以获得样品表面形貌的信息。 ;原理;能量的角度;力检测部分 位置检测部分 反馈系统;各部分介绍;各部分介绍;原子力显微镜;工作过程;集中工作模式;集中工作模式;;必须确定激光已落在针尖的背面，才能进针进行扫描！;材质：硅、氮化硅； 悬臂形状：矩形或三角形； 镀层：背面镀铝、镀金、镀铂等； 尺寸参数：长度、宽度、厚度； 力参数：力常数、共振频率； 针尖参数：针尖尺寸、高度、锥角； ;AFM探针;针尖的种类;;AFM图像;SPM Console在线控制软件;AFM的应用