GB/T 32642-2016平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法.pdf

ICS31-030 L90 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT32642 2016 平板显示器基板玻璃表面粗糙度的 测量方法 Flataneldislaslasssubstratesurfacerouhnessmeasurementmethod p p yg g 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT32642 2016 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 。 。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )与全国工业玻璃和特种玻璃标 SACTC203 准化技术委员会( / )共同归口。 SACTC447 : 、 。 本标准主要起草单位 彩虹集团公司 中国电子技术标准化研究院 : 、 、 、 、 、 。 本标准主要起草人 黄宁歌 王香 裴会川 李霜 杨万来 张春鹏 Ⅰ / — GBT32642 2016 平板显示器基板玻璃表面粗糙度的 测量方法 1 范围 本标准规定了使用触针式表面粗糙度测量仪测量平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法。 本标准适用于平板显示器用基板玻璃表面粗糙度的测量。 2 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 2.1 触针式表面粗糙度测量仪 stlussurfacerouhnessmeasurin instrument y g g , 探针在被测面的一部分上沿轮廓滑行 放大地记录下表面的不平整性并指明放大曲线的振幅是表 面粗糙度数值范围的仪器。 2.2 截止长波长 lon wavelenthcut-off