GB/T 32652-2016多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料.pdf

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| 2016-11-01 实施

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ICS31.030 L90 中华人民共和国国家标准 / — GBT32652 2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料 Fused uartzusedfor uartzceramiccruciblesforcastin olcrstallinesilicon q q gp y y 2016-04-25发布 2016-11-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会中华人民共和国国家标准多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料 / — GBT32652 2016 * 中国标准出版社出版发行北京市朝阳区和平里西街甲号( ) 2 100029 北京市西城区三里河北街号( ) 16 100045 网址: p g 服务热线: 400-168-0010 年月第一版 2016 6 * 书号: · 155066 1-53852 版权专有侵权必究 / — GBT32652 2016 前言本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 。。请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )提出并归口。 SACTC

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