ITO导电电极.doc

ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。9 _1 G% I2 Y% n! ~( s8 ?! u: w$ s0 Z0 T!; M. Y V( ]( `0 l: F??h/ }在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象；有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。: W( ?7 @8 g, _4 N6 E- |% k, i??q3 Q6 x n$ L# ITO导电层的特性： k* \. o# l, o; k5 L* B/ w+ W8 ]/ r! Y3 \0 [+ \5 qITO膜层 的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于 ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。7 l* V t2 T8 \% y+ r4 g2 m. O) W$ ~8 k3 @ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。) z4 T1 e) E. o??~1 O. B6 K; a, M, aITO层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高，电阻也增大。5 P! t8 ?0 t) U% X c??{, jITO导电玻璃的分类：3 n- ~) b3 @! m4 y4 c) V8 y+ S9 [; Z1 o( D9 t6 }0 `ITO导电玻璃按电 阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500奥姆）、普通玻璃（电阻在60~150奥姆）、低电阻玻璃（电阻小于60奥姆）。高电阻玻璃一般用于静电防 护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。 ~ k4 E: b7 s1 w( B1 n- e0 [6 T- M4 R9 k- ?ITO导电玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶显示器产品。; D2 A+ ]: `5 g0 TITO导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。1 L! @+ u J: H, a- f* E# p P+ i. K1 q1影响ITO玻璃性能的主要参数： v k0 T: K; k4 d3 d3 J1 O4 q3 f% Y)长度、宽度、厚度及允差（±0.20）0 h4 U+ w0 k: X3 K; D9 y, Z5 `1 p2 @1 D垂直度（≤0.10%）9 W+ {* T- A; }/ c% v: d/ C k3 A翘曲度（厚度0.7mm以上≤0.10%，厚度0.55mm以下≤0.15%） T; V1 }8 x u- X: w/ m2 L0 N$ I9微观波纹度 V+ b) @ @$ ^: T7 e( i??P7 n+ ^, Z `倒边2 P; _7 y- q7 l, E7 Q8 n6 v2 I7 \# J6 _4 E- @C倒边（0.05mm≤宽度≤0.40mm）: H1 M. F- Y1 U* x* L1 l2 H0 J- o g- A6 y: sR倒边（0.20mm≤宽度≤1.00mm，曲率半径≤50mm）- E2 ?. z2 a+ h8 W. }3 _8 o) \ R- ?7 T) z0 g倒角（浮法方向2.0mmX5.0mm；其余1.5mmx1.5mm）5 y! L5 T b4 E; w) SSIO2阻挡层厚度（350埃±50埃，550nm透过率≥90%）9 E U9 H D2 c??A4 V) I! y0 N- TITO层光学、电学、蚀刻性能（蚀刻液：600C